불활성 가스의 정밀한 제어: 비용 효율적인 대안
질량 유량 컨트롤러 VEFC는 특히 반도체 산업에 적합하지만 실제로는 불활성 가스를 정밀하게 제어해야 하는 모든 곳에도 적합합니다. 매우 컴팩트한 VEFC는 제어 공압 제품 포트폴리오를 확장합니다. 동시에 최대 역동성, 무한 가변 정밀도, 매우 낮은 전력 소비 및 가열, 수동 조정이 필요 없는 안정적인 흐름 등 피에조 밸브의 모든 장점을 갖추고 있으며 가격 대비 성능이 매우 좋습니다.
경제성, 안전성 및 정밀성을 자랑하는 N2 퍼징
로드 포트에 VEFC를 사용하면 개별 퍼지 단계에서 다양한 유량을 제어할 수 있습니다. Pre-Blowing, Pre-Purge, Process-Purge 및 Post-Purge에서 VEFC는 절대적으로 필요한 양의 질소만 사용되도록 보장합니다. 이는 질소를 절약하고 건조한 보호 가스 분위기에 도달할 때까지 공정 시간을 단축합니다.
