Aplicación: control y regulación de circuitos de refrigeración
Su desafío: regular con fiabilidad el refrigerante en la fabricación de semiconductores
La solución de Festo:
- Terminales de válvulas VTUG y VTOC (1) para el control fiable de válvulas para fluidos neumáticas
- Terminal de válvulas de tipo CPX-MPA, cuando se requieren I/O adicionales, p. ej., para regular válvulas eléctricas, integrar sensores o configurar circuitos de regulación cerrados. En este caso, también pueden realizarse funciones de diagnóstico y mantenimiento a distancia.
- Válvulas del tipo VZXA, VZQA, VZWF (3) de accionamiento neumático o eléctrico controlan el flujo de fluidos. También en un circuito de regulación los fluidos muy fríos y/o calientes serán regulados con fiabilidad y precisión.
- El actuador giratorio DFPD (4) acciona las válvulas de bola VZBF (5) y las válvulas de antirretorno que, debido al caudal elevado, se utilizan normalmente en la tubería principal o en el conducto de alimentación/evacuación del refrigerante/medio de atemperación.
- Sensores del tipo SFAW (2) y SPAW (6) miden con exactitud los caudales y las temperaturas o la presión del medio.
Productos para la industria de los semiconductores
Festo tiene una amplia gama de productos para máquinas destinadas a la producción de componentes electrónicos: el terminal de válvulas VTOC con función de seguridad integrada o el regulador de presión proporcional VEAA/VEAB para el servopilotaje de las válvulas para fluidos, como normalmente se utilizan en el control, es decir, en la regulación de los gases de procesos.
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