Jednym ze sposobów na wytrzymanie tej presji cenowej jest znaczne zmniejszenie zużycia azotu i energii potrzebnej do jego produkcji. Azot jest najczęściej wykorzystywanym medium w procesie produkcji półprzewodników. W dużych fabrykach półprzewodników zużycie azotu może wynosić do 50 000 metrów sześciennych na godzinę. Azot jest używany między innymi do tacek FOUP, aby stworzyć kontrolowane, wolne od zanieczyszczeń środowisko dla płytek transportowanych z jednej maszyny do drugiej w celu przetworzenia.
Dokładna analiza obszarów, w których azot jest wykorzystywany w fabryce i ukierunkowana minimalizacja zużycia może w krótkim czasie doprowadzić do znacznych oszczędności. Zwłaszcza podczas płukania FOUP istnieje wiele możliwości bardziej efektywnego wykorzystania azotu poprzez dozowanie go za pomocą sterowania w pętli zamkniętej. W porównaniu z konwencjonalnymi zaworami, piezoelektryczne zawory dozują z wysoką precyzją i jednocześnie zużywają bardzo mało energii. Dzięki odpowiednim systemom można znacznie zmniejszyć zużycie azotu w dużej fabryce oraz związane z tym zużycie energii i emisję CO2.
O autorach
Torsten Schulz
Head of Global Industry Segment Electronics
Festo SE & Co. KG
Tobias Glattbach
Global Industry Segment Electronics
Festo SE & Co. KG
