Precyzyjne sterowanie gazami obojętnymi: korzystna alternatywa
Regulator przepływu masowego VEFC jest idealny w szczególności dla przemysłu półprzewodnikowego, ale sprawdza się również wszędzie tam, gdzie konieczna jest precyzyjna regulacja gazów obojętnych. Bardzo kompaktowy VEFC rozszerza portfolio produktów z obszaru Controlled Pneumatics. Jednocześnie ma wszystkie zalety zaworów piezoelektrycznych: maksymalną dynamikę, bezstopniową precyzję, bardzo niskie zużycie energii i nagrzewanie się, stabilny przepływ bez ręcznej regulacji - oraz bardzo dobry stosunek ceny do wydajności.
Ekonomiczne, bezpieczne i precyzyjne przedmuchiwanie przy użyciu N2
Zapewnia to, że używana jest tylko absolutnie niezbędna ilość azotu, czy to podczas przedmuchiwania, oczyszczania wstępnego, procesu oczyszczania oraz oczyszczania końcowego. Podczas przedmuchiwania, oczyszczania wstępnego, oczyszczania procesowego i oczyszczania końcowego VEFC zapewnia, że używana jest tylko absolutnie niezbędna ilość azotu. Oszczędza to azot i skraca czas procesu do momentu osiągnięcia atmosfery suchego gazu osłonowego.
