O esforço para se tornar neutro em emissões de carbono e reduzir o impacto do CO2 no clima não é uma tarefa fácil para nenhuma indústria, e menos ainda para os fabricantes de semicondutores. Os fabricantes devem acompanhar o ritmo da enorme demanda num mercado global que se prevê irá crescer até ultrapassar os mil milhões de dólares norte-americanos até 2030. Entre as causas encontramos, por um lado, o enorme crescimento do consumo mundial de eletrónica de consumo. Por outro lado, o desenvolvimento de aplicações informáticas avançadas como, por ex., a inteligência artificial, a Internet das Coisas ou as tecnologias de aprendizagem automática, desempenha um papel fundamental.
Devido ao processo de produção de alta precisão e complexidade, é utilizada grande quantidade de gases e produtos químicos em centenas de fases dos processos, por ex., na deposição de película fina, no revestimento, no polimento químico-mecânico (CMP), na litografia, na metrologia, na gravação e em muitos outros. Contudo, a aplicação do nitrogénio está muito à frente em termos de consumo global.
A crescente demanda de semicondutores e chiplets cada vez mais pequenos e altamente desenvolvidos obriga os fabricantes a trabalhar em ambientes inertes ou não reativos em todo o processo de produção. As estruturas litográficas extremamente pequenas e as espessuras das camadas de tamanho atómico dos wafers podem ser destruídas em contacto com o oxigénio. Isto costuma evitar-se purgando com nitrogénio as cápsulas unificadas de abertura frontal (FOUP) ou outros sistemas de produção com nitrogénio ultra puro (UHP) sem partículas. Dado que o nitrogénio pode separar-se do ar em grandes quantidades, esta medida de proteção foi a norma da indústria durante décadas. A demanda é enorme, e o potencial de poupança também. Portanto, a aplicação de nitrogénio doseado com precisão na produção de semicondutores é uma escolha lógica se quiser aproveitar o potencial de poupança.
Para si e para muitos outros fabricantes, a redução das emissões de energia e de dióxido de carbono pode parecer uma questão menor quando é preciso fazer frente a esta enorme demanda. No entanto, vale a pena estar atento à redução do consumo de energia e das emissões de dióxido de carbono. O menor consumo de nitrogénio por wafer produzido e a consequente menor quantidade que é necessário produzir ajudam a aumentar o yield, visto que os processos de compressão e arrefecimento na produção de nitrogénio UHP consomem muita energia.
Também pode poupar energia na produção, por exemplo, utilizando componentes energeticamente eficientes. Uma redução sustentável do consumo energético também assegura um menor aquecimento dos componentes e, por isso, uma menor necessidade de refrigeração da sala limpa. Com menores emissões e métodos de produção sustentáveis, a pegada de CO2 da sua empresa pode melhorar significativamente.