Com as válvulas VEAD e VEFC, o consumo de nitrogénio pode diminuir até 75% na lavagem dos FOUP. Estas soluções foram especialmente concebidas para aplicações de dosagem de gases inertes e oferecem vantagens, tais como uma elevada dinâmica, baixa produção de partículas e uma longa vida útil.
Como inovação tecnológica, a Festo utiliza dobradores piezoelétricos nestas válvulas reguladoras. Esta tecnologia permite a regulação precisa e contínua da válvula por meio da aplicação de uma tensão. A utilização da eficiente tecnologia piezoelétrica também minimiza o consumo energético. No total, pode poupar até 18% do seu consumo total de nitrogénio e reduzir as emissões de CO2 em quase 1/5.