Cu ventilele VEAD si VEFC, consumul de azot poate fi redus cu pana la 75% la spalarea FOUP-urilor. Aceste solutii sunt special concepute pentru aplicatii de dozare a gazelor inerte si ofera avantaje precum dinamica ridicata, generare redusa de particule si o durata de serviciu indelungata.
Festo utilizeaza dispozitive de indoit piezoelectrice in aceste regulatoare ca o inovatie tehnica. Aceasta tehnologie permite controlul progresiv si precis al ventilului prin aplicarea unei tensiuni. Utilizarea tehnologiei piezoelectrice eficiente minimizeaza, de asemenea, consumul de energie. In general, puteti economisi pana la 18% din consumul total de azot si puteti reduce emisiile de CO2 cu aproape 1/5.