Procese atmosferice în producția de semiconductori

Festo se bazează pe un "gantry inversat" pentru manipularea plăcilor între FOUP și Load-Lock. Acest robot cartezian asigură deplasarea sigură și rapidă a plăcilor într-un mediu atmosferic. Soluția economisește spațiu și poate fi, de asemenea, integrată în EFEM-urile existente.

Produse recomandate:
Axă electrică ELGD

Dispozitivul nostru de aliniere a plăcilor, unic la nivel mondial, combină efectorul final și dispozitivul de aliniere într-un singur sistem compact. Acesta punctează pentru manipularea sa delicată, reproductibilitatea optimă și amprenta extrem de redusă. Soluția noastră de automatizare poziționează placa direct pe furcă, recunoaște marcajele, cum ar fi crestăturile, aliniază placa în mod corespunzător și oîncarcă în camera de procesare cu o precizie extrem de precisă. Această combinație a mai multor etape într-un modul reduce durata ciclului, EFEM necesită mult mai puțin spațiu, iar numărul de prelevări ale plăcii, adică frecvența cu care placa este ridicata și așezata, este redusă. alinierea fără contact se realizează folosind efectul Bernoulli. Acest lucru înseamnă că placa poate fi, de asemenea, întoarsă ("întoarsă") și introdusă cu susul în jos în proces.

Liftul pentru plăcuțe permite poziționarea precisă și fără vibrații a plăcuței cu o precizie de până la un micrometru. De asemenea, este posibilă mișcarea de la un capăt la altul a substratului fără vibrații, pentru a evita așa-numitul wafer walk. Un avantaj major constă în faptul că sistemul recunoaște forța necesară pentru ridicarea plăcii, de exemplu de pe un mandrină electrostatică pentru plăci (ESC). Acest lucru reduce în mod semnificativ riscul apariției de microfisuri în placă sau chiar ruperea completă a acesteiai. Soluția pneumatică este mai compactă decât sistemele electrice, reduce componentele electrice, cum ar fi motoarele și controller-ele motor și, prin urmare, și radiația termică, deoarece regulatoarele nu trebuie să fie amplasate direct lângă camera de proces. Acționările specializate pentru vid înalt pot fi, de asemenea, controlate cu regulatoare Festo.

Sistemul generează și furnizează date pe care le puteți utiliza pentru a monitoriza starea sistemului. Pentru a face acest lucru, puteți utiliza algoritmi existenți din Festo AI tool "Festo AX" și să îi integrați în sistemul dvs. ca module individuale sau ca un sistem întreg, personalizat.

Produse recomandate:
Insula de ventile VTEP
Control CPX-E
Senzor SDAT

Soluțiile noastre de purjare cu N2 pentru crearea și menținerea atmosferelor curate previn în mod fiabil oxidarea de către oxigenul atmosferic și contaminarea de către particulele din aer. Veți găsi sistemul potrivit pentru fiecare aplicație, de la debite mici la debite mari, de exemplu pentru FOUP-uri. Portofoliul nostru include regulatoare de debit masic (MFC) ca soluție cu un singur canal și terminale de vane cu mai multe MFC ca soluție cu mai multe canale. Pentru EFEM-uri, stocatoare SMIF/ FOUP sau bănci de matrițe, oferim soluții de purjare cu o amprentă deosebit de compactă. Sistemul generează date pe care le puteți utiliza pentru a monitoriza starea sistemului, în special gradul de contaminare al filtrelor utilizate. Evitați oprirea neplanificată a utilajului și optimizați în continuare procesul dumneavoastră.

Produse recomandate:
Regulatoarele noastre de debit masic VEMD, VEAD, VEFC, VTEP

La acoperirea substraturilor cu fotorezist (PR), care poate fi, printre altele, costisitoare, controalele noastre Ventil dozare asigură grosimi precise ale straturilor. Și astfel pentru o calitate stabilă și reproductibilă a procesului și o eficiență economică optimă. Funcția suck-back previne blocarea picăturilor pe partea exterioară a vârfului duzei. Ventilurile noastre asigură distribuirea PR precisă și retragerea ultimei picături, protejând astfel mediul sensibil de oxigenul atmosferic.

Produse recomandate:
Ventil dozare VEAB și VTEP
Electroventil cu medii separate VYKA/ VYKC
Acționări electrice EPCO și ERMO și senzori corespunzători

Ventilurile și senzorii noștri controlează mediile de proces în sub-fabricație, conectare și WFE/tool cu o precizie și o eficiență ridicate. Fie că este vorba de suspensii cu particule abrazive, substanțe chimice umede, cum ar fi acizi sau alcalii, apă DI sau solvenți - indiferent dacă instalarea are loc într-o cutie uscată, într-un cabinet de control sau direct pe unealtă - și indiferent dacă vă concentrați pe amprentă minimizată, puritate a particulelor, timpi de comutare rapizi sau cerințe speciale de mediu, cum ar fi temperatura ridicată sau expunerea la substanțe chimice: Festo oferă soluții fiabile de ventilare și control pentru fiecare aplicație - pentru o producție de semiconductori fiabilă și de lungă durată.

Sistemele noastre pot genera date pe care le puteți utiliza pentru a monitoriza starea sistemului. Pentru a face acest lucru, puteți utiliza algoritmi existenți din Festo AI tool "Festo AX" și să îi integrați în sistemul dvs. ca module individuale sau ca un sistem întreg, personalizat.

Produse recomandate:
Ventiluri VTOC, MH1, MHA2 și VUVG/ VTUX
Senzori SPTE, SPAN și SPAF

Așa-numitul lift utilizează acționări pneumatice cu ajutorul cărora mijloacele de proces lichide pot fi separate în mod specific, reutilizate sau eliminate într-un mod controlat. Recipientele de colectare respective ("boluri") sunt poziționate cu precizie și ținute în siguranță în funcție de mediu sau de înălțimea de pulverizare necesară. În același timp, sistemul ajută la reducerea semnificativă a vibrațiilor și șocurilor în timpul funcționării sistemului.

Sistemele noastre pot genera date pe care le puteți utiliza pentru a monitoriza starea sistemului. Pentru a face acest lucru, puteți utiliza algoritmi existenți din Festo AI tool "Festo AX" și să îi integrați în sistemul dvs. ca module individuale sau ca un sistem întreg, personalizat.

Produse recomandate:
Insula de ventile VTEP
Zylinder DFM
Control CPX-E
Senzor SDAT

În lustruirea mecano-chimică (CMP), controlul nostru pneumatic asigură o forță de apăsare dinamică și foarte precisă între placă și masa de lapare. Ventilele reglează presiunea în timp real și permit presarea și ridicarea deosebit de blândă a plăcilor. Împreună cu senzorii noștri de presiune, ventilele permit un nivel deosebit de ridicat de precizie.

Produse recomandate:
Ventilele VTEP și VEAB
Senzor de presiune SPAN
Electroventil cu medii separate VYKC

În sistemele de proces umed, cum ar fi curățătoarele prin centrifugare sau liniile de acoperire, este important ca ușa către camera de proces să funcționeze fiabil. Deosebit de important în camera curată: trebuie să protejeze în mod fiabil plăcile de contaminare chiar și în condiții neașteptate - cum ar fi o pană de curent sau de alimentare cu aer - și nu trebuie să fie el însuși o sursă de particule. Soluțiile noastre pentru obloane includ cilindri rotunzi fiabili și preciși cu lubrifianți speciali pentru deschiderea și închiderea automată. Sistemele noastre de interblocare pneumatică asigură, de asemenea, blocare sigură. Senzorii utilizați oferă un feedback fiabil cu privire la poziție.

Produse recomandate:
Cilindru rotund DSNU
Sisteme de blocare VOFA, VTOC, MH1, VUVG/ VTUG, VTUX
Senzori SPTE, SPAN și SPAF

Oferim numeroase soluții specializate pentru manipularea FOUP-urilor, a capsulelor SMIF, a substraturilor și a reticulelor în fabricile de semiconductoare foarte automatizate. Cu sistemul nostru de gantry inversat, realizăm mișcări economice și cu economie de spațiu în EFEM, în timp ce sistemul nostru inovator de aliniere a plăcilor accelerează procesul de încărcare prin aliniere integrată și scurtează astfel durata ciclului. Pentru FOUP-uri, furnizăm sisteme de purjare N2 de înaltă performanță cu control precis, opțional ca soluție cu un singur canal sau cu mai multe canale, ceea ce vă ajută să reduceți numărul de E/S sau să operați mai multe MFC-uri cu un singur modul de bus. De asemenea, dezvoltăm sisteme compacte de purjare pentru dopurile SMIF/ FOUP sau băncile de matrițe care controlează cu precizie chiar și debitele mici și asigură o atmosferă de protecție pură.

Oferim soluții speciale pentru procesele umede, cum ar fi acoperirea PR, dezvoltarea, decaparea sau SpinClean. Soluțiile noastre, cum ar fi supapele și senzorii, controlează ventilele de înaltă puritate din PFA, PTFE, PVDV sau PP sau ventilele de ultra înaltă puritate din oțel inoxidabil cu precizie și eficiență ridicate, beneficiind, de asemenea, de o durată lungă de viață datorită acționării deosebit de blânde. Sistemele noastre pot genera date pe care le puteți utiliza pentru a monitoriza starea sistemului. Pentru a face acest lucru, puteți utiliza algoritmi existenți din instrumentul Festo AI „Festo AX” și îi puteți integra în sistemul dvs. ca module individuale sau ca un sistem complet personalizat.
Indiferent dacă instalarea se face într-o cutie uscată, într-un cabinet de control sau direct pe unealtă, indiferent dacă vă concentrați pe o amprentă minimă, pe puritatea particulelor, pe timpi rapizi de comutare, pe cerințe speciale de mediu, cum ar fi temperatura ridicată sau expunerea la substanțe chimice, oferim soluția potrivită pentru fiecare aplicație. Dozează chimicale agresive, în timp ce ventilele cu funcție de aspirare previn picurarea în timpul distribuției PR și asigură cantități exacte de mediu. Pentru procesele de curățare prin centrifugare, furnizăm acționări pneumatice care controlează liftul bolului și deplasează continuu protecția împotriva stropirii sau separatorul de medii în poziția necesară. În acest fel, susținem gestionarea sigură, eficientă și fără contaminare a proceselor. Și astfel aduceți o mică contribuție la un proces de producție durabil. Prin utilizarea tehnologiei inovatoare a valvelor, puteți economisi energie electrică direct cu Festo și reduce astfel amprenta dvs. de CO2 Vom fi bucuroși să vă însoțim pe calea dvs. de a deveni o "fabrică verde".

Oferim soluții speciale pentru procesele CMP care necesită precizie și dinamică maxime, în special în ambalaje avansate. Ventilele noastre piezoelectrice de înaltă precizie permit controlul exact al presiunii de contact - crucial pentru îndepărtarea controlată și uniformă a materialului. În acest fel, nu numai că susținem calitatea procesului și minimizarea rebuturilor, dar contribuim și la scurtarea duratei proceselor dumneavoastră. De asemenea, dezvoltăm soluții care îmbunătățesc eficiența și disponibilitatea sistemelor CMP, de exemplu în combinație cu tampoane de condiționare sau componente inteligente de automatizare.

Oferim soluții complete pentru automatizarea tuturor domeniilor și etapelor de proces din fabrica Semicon. În fabricile inovatoare, de exemplu, susținem progresul tehnologic prin cercetarea noastră și produsele noastre de pionierat. În SubFab, asigurăm o aprovizionare fiabilă cu medii și procese stabile, cum ar fi tratarea apelor reziduale sau a gazelor reziduale. De la ventile precise și acționări inteligente la sisteme complete de manipulare, soluțiile noastre de automatizare contribuie în mod fiabil la realizarea unor procese de producție mai stabile, mai rapide și mai eficiente energetic.

Utilizați datele generate de soluțiile noastre și monitorizați starea mașinii sau optimizați procesul - utilizați soluțiile Festo AI "Festo AX", fie ca un modul individual pentru o aplicație specială, fie ca o soluție globală personalizată pentru sistemul dumneavoastră.

Reduceți consumul de energie în sistemul dvs. și în întreaga fabrică prin utilizarea tehnologiei inovatoare Festo. Economisiți de două ori cu noi! Reduceți consumul de energie al sistemului dvs. și optimizați consumul de aer comprimat/CDA și gaze inerte. Vă însoțim în misiunea dumneavoastră de reducere a amprentei de CO2.

Oferim soluții inovatoare pentru ambalaje avansate, care joacă un rol central în cipurile moderne, cum ar fi HBM. Pentru procese precum lipirea flip-chip sau fuziune/hibrid, furnizăm actuatoare de manipulare precise pentru a preveni "stoarcerea" în lipirea adezivă. Beneficiați de actuatoare precise cu ajutorul cărora puteți realiza mișcări precise cu o precizie de 1µm.
Măsurați îndoirea vafelor (vafe deformate) și trageți-le pe mandrina dvs.

Monitorizați procesele și starea utilajelor cu Festo AX. Beneficiați de tehnologia inovatoare Festo în dispozitivul dvs. de lipire prin fuziune/hibrid și creșteți fiabilitatea și calitatea procesului în ambalaje avansate exigente.