Otvori su najjednostavniji oblik kontrole protoka azota. To su mehanički konusi (fiksne rupe) u sistemu creva, kroz koje definisana količina azota teče pod konstantnim pritiskom. Prednost: izuzetno niski ukupni troškovi, često ispod 90 € – uključujući kućište kao i jednostavan preklopni ventil i sam poklopac. To ih čini idealnim za jednostavne aplikacije za podešavanje protoka azota sa stabilnim uslovima.
Često korišćeni proizvod u ovom kontekstu je MH1 ventil. To je jeftin standardni ventil koji, u kombinaciji sa dijafragmom, obezbeđuje funkcionalno, analogno rešenje za regulisanje protoka gasa u industriji. U mnogim aplikacijama, ova kombinacija je dovoljna – posebno kada je pritisak za ulaganje visok ili nije potrebna digitalna povratna informacija.
Međutim, postoje jasna ograničenja:
Pored toga, treba napomenuti da ako i dalje želite da snimite izmerene vrednosti kasnije, potreban je dodatni hardverski napor (npr. odvojeni senzori pritiska ili protoka, kao i neophodan ulaz u kontroler), što povećava troškove i složenost sistema. Uprkos veoma dugom vijeku trajanja i pouzdanosti ventila, jednostavni preklopni ventili kao što je MH1 nisu idealni za procese kritične za čistoću zbog svog dizajna, jer se očekuju veće emisije čestica u poređenju sa namjenskim regulatorima protoka mase.
Ipak, mnoge proizvodne linije i dalje se oslanjaju na ovaj princip – posebno kada se samo jednostavni protoci zapremine moraju održavati konstantnim i odgovarajući filteri ponovo apsorbuju čestice. Međutim, čim su potrebna dinamička podešavanja, pouzdan nadzor ili sledljivost procesa, ovo rešenje brzo dostiže svoje granice.
Kontroleri masenog protoka kao što su VEFC, VEMD ili VEAD pružaju metode za kontrolu protoka azota koji fiksni otvori ili podesivi ventili za gas ne mogu:
Sami uređaji nisu "inteligentni" u smislu autonomne detekcije anomalija – ali su spremni za AI. U kombinaciji sa nadgledanjem filtera, senzorima pritiska i algoritmima, na primer stepen kontaminacije filtera može se detektovati, što omogućava pravovremeno održavanje bez prekida proizvodnje.
Pre nego što odlučite o određenom ventilu, trebalo bi da pažljivo pogledate tehničke zahteve i radno okruženje. Svaki ventil ima svoje prednosti – bilo da se radi o brzini protoka, veličini ili povezanosti.
Dok jednostavni sistemi izgledaju mnogo jeftinije za kupovinu, pouzdani kontrolni ventili sa funkcijom praćenja nude odlučujuće prednosti:
Primer: U sistemu sa kontrolnim 50 ventilima, jednostavan prikaz na svakom uređaju može pomoći u brzoj identifikaciji neispravnih područja – bez digitalnog očitavanja.
Moderni regulatori masenog protoka pružaju dragocene podatke – protok, pritisak, temperaturu – koji se mogu integrisati u sisteme višeg nivoa kao što je Festo AX. Ovo otvara mogućnosti kao što su:
Ovi uređaji nisu "inteligentni" sami po sebi, ali su spremni za AI – i čine osnovu za buduće proizvodne procese zasnovane na podacima.
Izbor pravog ventila zavisi od mnogih faktora:
Za pojedinačnu preporuku, oslanjaćemo se na interaktivni alat koji vam predlaže optimalno rešenje kroz ciljana pitanja – od jednostavnog otvora blende do VEFC-a sa omogućenom AI.
Regulacija azota u proizvodnji poluprovodnika je mnogo više od tehničke stvari – ona utiče na kvalitet, stabilnost procesa i troškove. Bilo da se radi o jednostavnom rešenju ili najsavremenijoj tehnologiji kontrole, ono što je važno je ono što je potrebno vašoj aplikaciji. Pravilnim izborom ne samo da osiguravate operativnu pouzdanost, već i efikasnost i buduću održivost.