FOUP zagotavlja zaprto okolje za transport in shranjevanje rezin med procesnimi koraki. Prepihovanje z N₂ pomaga vzdrževati zahtevano zaščitno atmosfero znotraj vsebnikov FOUP in omejuje izpostavljenost atmosferskemu kisiku ter onesnaženju prek zraka.
Izziv ni zgolj zmanjšanje pretoka dušika. Pretok mora ustrezati zahtevam postopka izpihovanja, hkrati pa se je treba izogniti nepotrebni porabi.
Natančno nadzorovanje pretoka in tlaka dušika je zato ključna za zagotavljanje, se lahko oskrba zanesljivo odziva na spreminjajoče se procesne pogoje.
Piezoelektrični krivilniki pretvarjajo električno napetost v natančno mehansko gibanje. To omogoča neprekinjeno in natančno uravnavanje tlaka ali pretoka ob izjemno majhni porabi električne energije.
Proporcionalni regulator tlaka VEAD in krmilnik masnega pretoka VEFC uporabljata ta princip za upravljanje inertnih plinov, kot je dušik. Zaradi natančne nadzora, hitrega odziva in nizkega nastajanja delcev so primerni za občutljive aplikacije v industriji polprevodnikov.
Stalen ali visok pretok pogosto zagotavlja več dušika, kot je dejansko potrebno. Krmiljenje na osnovi piezotehnologije, natančneje prilagaja pretok N₂ dejanskim potrebam v procesu.
V Festo vzorčnem izračunu je reguliran pretok zmanjšal stopnjo izpihovanja z 20 na 5 SLPM na FOUP, kar ustreza zmanjšanju do 75%. Dejanski prihranki so odvisni od procesnih zahtev in pogojev delovanja.
Nadzor tlaka ali pretoka na osnovi piezotehnologije je lahko še posebej uporaben, kadar aplikacija zahteva:
Čiščenje z OUP je del širšega okolja proizvodnje polprevodnikov. Ustrezne zahteve za avtomatizacijo so odvisne od opreme in procesnega področja.
Za aplikacije, ki vključujejo nanašanje, jedkanje, ionsko implantacijo in sorodno opremo za obdelavo rezin, raziščite raziščite visokovakuumske procese v proizvodnji polprevodnikov.
Za izpihovanje FOUP in druge aplikacije izpihovanja z N₂ v atmosferskih procesnih okoljih raziščite atmosferske procese v proizvodnji polprevodnikov.