Zaslonke so najpreprostejša oblika nadzora pretoka dušika. Gre za mehanske zožitve (fiksne odprtine) v sistemu cevi, skozi katere se pod stalnim tlakom pretaka določena količina dušika. Prednost: izjemno ugodni skupni stroški, pogosto manj kot 90 € – vključno z montažo ter preprostim preklopnim ventilom in zaslonko. Zaradi tega so idealni za preproste aplikacije prilagajanja pretoka za dušik s stabilnimi pogoji.
Pogosto uporabljen izdelek v tem kontekstu je ventil MH1. To je poceni standardni ventil, ki v kombinaciji z zaslonko ponuja funkcionalno analogno rešitev za nastavitev pretoka plina v industriji. Pri številnih aplikacijah ta kombinacija zadostuje, zlasti če je investicijski tlak visok ali če ni potrebna digitalna povratna informacija.
Vendar obstajajo jasne omejitve:
Opozoriti je treba tudi na naslednje: Če želite izmerjene vrednosti beležiti tudi pozneje, je potrebna dodatna strojna oprema (npr. ločeni senzorji tlaka ali pretoka ter potreben vhod na krmilniku), kar povečuje stroške in zapletenost sistema. Kljub zelo dolgi življenjski dobi in zanesljivosti ventila preprosti preklopni ventili, kot je MH1, zaradi svoje zasnove niso idealni za procese, kritične z vidika čistoče, saj je v primerjavi z namenskimi regulatorji masnega pretoka pričakovati večje emisije delcev.
Kljub temu se številne proizvodne linije še vedno zanašajo na to načelo – zlasti če je treba ohranjati konstantne le preproste prostorninske pretoke in ustrezni filtri ponovno absorbirajo delce. Vendar pa ta rešitev hitro doseže svoje meje, ko so potrebne dinamične prilagoditve, zanesljivo spremljanje ali sledljivost procesa.
Regulatorji masnega pretoka, kot so VEFC, VEMD ali VEAD, ponujajo metode za nadzor pretoka dušika, ki jih fiksne odprtine ali nastavljivi dušilni ventili ne omogočajo:
Naprave same niso "inteligentne" v smislu avtonomnega zaznavanja anomalij, vendar so pripravljene za AI. V povezavi s spremljanjem filtrov, tlačnimi senzorji in algoritmi je mogoče na primer prepoznati stopnjo onesnaženosti filtra, kar omogoča pravočasno vzdrževanje brez prekinitve proizvodnje.
Preden se odločite za določeni ventil, morate natančno preučiti tehnične zahteve in okolje uporabe. Vsak ventil ima svoje prednosti – glede pretoka, velikosti ali povezljivosti.
Čeprav se zdi, da je nakup preprostih sistemov bistveno cenejši, imajo zanesljivi regulacijski ventili s funkcijo nadzora odločilne prednosti:
En primer: V sistemu s 50 regulacijskimi ventili lahko preprost zaslon na vsaki napravi pomaga hitro prepoznati okvarjena območja – brez digitalnega odčitavanja.
Sodobni masni regulatorji pretoka zagotavljajo dragocene podatke – pretok, tlak, temperaturo – ki jih je mogoče vključiti v sisteme višje ravni, kot je Festo AX. To odpira možnosti, kot so
Te naprave same po sebi niso "inteligentne", vendar so pripravljene na UI – in so osnova za proizvodne procese, ki bodo v prihodnosti podprti s podatki.
Izbira pravega ventila je odvisna od številnih dejavnikov:
V prihodnosti bomo s pomočjo interaktivnega orodja pripravili prilagojena priporočila, ki vam bodo na podlagi specifičnih vprašanj predlagala najboljšo rešitev – od preprostih zaslonk do VEFC z umetno inteligenco.
Regulacija dušika v proizvodnji polprevodnikov je veliko več kot le tehnično vprašanje – vpliva na kakovost, stabilnost procesa in stroške. Ne glede na to, ali potrebujete preprosto rešitev ali najsodobnejšo nadzorno tehnologijo, je odločilno, kaj zahteva vaša aplikacija. S pravilno izbiro zagotovite ne le zanesljivost delovanja, temveč tudi učinkovitost in trajnost.