Eden od načinov, kako se upreti temu cenovnemu pritisku, je znatno zmanjšanje porabe dušika in energije, potrebne za proizvodnjo. Dušik je najpogosteje uporabljen medij pri proizvodnji polprevodnikov. V velikih tovarnah polprevodnikov je poraba dušika lahko do 50.000 kubičnih metrov na uro. Dušik se med drugim uporablja za čiščenje naprav FOUP, da se ustvari nadzorovano okolje brez kontaminacije za waferje, ki se prenašajo iz enega stroja v drugega za obdelavo.
Skrbna analiza področij, na katerih se v tovarni uporablja dušik, in ciljno usmerjeno zmanjšanje porabe lahko v kratkem času privedeta do znatnih prihrankov. Zlasti izpiranje naprav FOUP ponuja veliko možnosti za učinkovito uporabo dušika z aktivnim doziranjem z zaprto nadzorno zanko. V primerjavi z običajnimi ventili piezoelektrični izpiralni ventili omogočajo zelo natančno doziranje in hkrati porabijo zelo malo energije. Z ustreznimi sistemi je mogoče znatno zmanjšati porabo dušika v veliki tovarni ter s tem povezano porabo energije in emisije CO2.
