Natančen nadzor inertnih plinov: ugodna alternativa
Masni regulator pretoka VEFC je idealen zlasti za polprevodniško industrijo, pravzaprav pa povsod, kjer je treba natančno nadzorovati inertne pline. Zelo kompaktni VEFC razširja ponudbo izdelkov s področja nadzorovane pnevmatike. Hkrati vsebuje vse prednosti piezo ventilov: največjo dinamiko, brezstopenjsko natančnost, zelo majhno porabo energije in segrevanje, stabilen pretok brez ročnega nastavljanja in zelo dobro razmerje med ceno in zmogljivostjo.
Ekonomično, varno in natančno čiščenje z N2
Z VEFC v priključku za obremenitev lahko v posameznih korakih čiščenja uravnavate najrazličnejše pretoke. VEFC zagotavlja, da se med predhodnim izpihovanjem, predčiščenjem, procesnim čiščenjem in naknadnim čiščenjem uporablja le nujno potrebna količina dušika. Tako prihranite dušik in skrajšate čas postopka, dokler ne dosežete suhe atmosfere zaščitnega plina.
