Jedným zo spôsobov, ako odolať tomuto cenovému tlaku, je výrazne znížiť spotrebu dusíka a energiu potrebnú na jeho výrobu. Dusík je najbežnejšie používané médium v procese výroby polovodičov. Vo veľkých továrňach na výrobu polovodičov môže byť spotreba dusíka až 50 000 metrov kubických za hodinu. Okrem iného sa dusík používa na čistenie FOUP, aby sa vytvorilo kontrolované prostredie bez kontaminácie pre doštičky, ktoré sa prepravujú z jedného stroja do druhého na spracovanie.
Dôkladná analýza oblastí, kde sa v továrni používa dusík, a cielená minimalizácia spotreby môže viesť k výrazným úsporám v krátkom čase. Najmä preplachovanie FOUP ponúka veľa možností efektívneho využitia dusíka prostredníctvom aktívneho dávkovania s uzavretou regulačnou slučkou. V porovnaní s bežnými ventilmi dávkujú piezoelektrické splachovacie ventily s vysokou presnosťou a zároveň spotrebúvajú extrémne málo energie. S vhodnými systémami je možné výrazne znížiť spotrebu dusíka vo veľkej továrni, ako aj s tým spojenú spotrebu energie a emisie CO2.
O autoroch
Torsten Schulz
Vedúci globálneho priemyselného segmentu elektroniky
Festo SE & Co. KG
Tobias Glattbach
Global Industry Segment Electronics
Festo SE & Co. KG
