Použitie: riadenie a regulácia chladiacich okruhov
Vaša požiadavka: spoľahlivo regulovať chladiace médium pri výrobe polovodičov
Riešenie od spoločnosti Festo:
- Ventilové terminály VTUG a VTOC (1) na spoľahlivé riadenie pneumatických ventilov pre médiá
- Ventilový terminál typu CPX-MPA, ak sú potrebné ďalšie vstupy/výstupy, napríklad na ovládanie elektrických ventilov, na integráciu snímačov alebo na tvorbu uzavretých regulačných slučiek. Tiež s možnosťou diagnostických funkcií a funkcie vzdialenej údržby.
- Pneumaticky alebo elektricky ovládané ventily typu VZXA, VZQA, VZWF (3) riadia prietok média. Aj v uzavretej regulačnej slučke sú veľmi studené a/alebo horúce médiá riadené spoľahlivo a presne.
- Kyvný pohon DFPD (4) poháňa guľové ventily VZBF (5) a klapky, ktoré sa zvyčajne kvôli vysokým prietokom používajú v hlavnom potrubí, alebo na prívod/odvod chladiaceho/ohrievacieho média.
- Snímače typu SFAW (2) a SPAW (6) merajú veľmi presne prietok, teplotu a tlak média.
Výrobky pre polovodičový priemysel
Festo má široké portfólio produktov pre stroje na výrobu elektronických komponentov: ventilový terminál VTOC s integrovanou bezpečnostnou funkciou, alebo proporcionálne tlakové regulačné ventily VEAA/VEAB na nepriame riadenie ventilov pre médiá, ktoré sa zvyčajne používajú pri riadení alebo regulácii procesných plynov.
Zdieľanie poznatkov z polovodičového priemyslu
Skôr než sa rozhodnete pre spoločnosť Festo, opýtajte sa na názor svojich špecialistov. Ukážte ďalším naše navrhované riešenia a príklady aplikácií pomocou tohto odkazu