Automatizácia v polovodičovom priemysle

Presnosť a výkon pre optimálnu priepustnosť výroby

Zdokonaľte svoju výrobu polovodičov pomocou ideálnych automatizačných riešení - pre stabilné procesy, maximálnu presnosť a minimalizáciu priestorových požiadaviek. Ako partner pre čipový a polovodičový priemysel poznáme výzvy, ktorým čelíte. Podporujeme vás inovatívnymi štandardnými komponentmi, ako aj riešeniami na mieru, ktoré dokonale zapadnú do vášho procesu a systému. Naše riešenia zohľadňujú priemyselné normy, ako je napríklad tvorba častíc alebo odplyňovanie.

S našimi vysoko kvalitnými a ľahko prispôsobiteľnými automatizačnými riešeniami môžete využívať inovatívne a konkurencieschopné technológie od front-endu cez back-end až po pokročilé balenie, ako je napríklad hybridné lepenie. Sú optimalizované na minimalizáciu znečistenia, pracujú spoľahlivo a trvalo udržujú váš výnos. Vďaka ich konštruktívnej konštrukcii môžete často znížiť náklady na energiu a svoju ekologickú stopu.

Riešenia, ktoré udržujú vaše procesy trvalo stabilné a reprodukovateľné

Naše automatizačné riešenia zabezpečujú stabilný, a teda aj ekonomický výnos vo výrobe polovodičov. Vďaka inteligentnému dizajnu sú naše komponenty mimoriadne prispôsobivé a škálovateľné. Vďaka tomu môžete kedykoľvek rýchlo a jednoducho reagovať na meniace sa požiadavky na výrobu.

Tieto výhody môžete využívať s našimi automatizačnými riešeniami:

  • Vysoko presné riadenie pohybu, tlaku a prietoku média
  • Čistý dizajn pre potrebnú čistotu a emisie častíc
  • Priestorovo úsporný dizajn pre kompaktné inštalačné prostredie
  • Minimalizovaná spotreba energie a znížená produkcia tepla
  • Pripravenosť na AI/IoT
  • Spoľahlivá celosvetová dostupnosť vďaka miestnej výrobe a dodávkam
  • Súlad s požiadavkami CopyExactly!
  • Personalizovaná odborná podpora pri riešení problémov špecifických pre daný proces
  • Špecifické mazivá a tesnenia pre polovodiče, ktoré zabraňujú nežiaducemu odplyneniu

Výroba s opakovanou presnosťou a kontrolou v reálnom čase pomocou umelej inteligencie

Spoľahnite sa na naše komplexné riešenia, aby vaše procesy boli dlhodobo stabilné a reprodukovateľné. Vďaka našim špecifickým tesneniam a mazivám Semicon môžete tiež profitovať z minimalizácie odplyňovania pre ideálne procesné sekvencie. Či už ide o individuálne riadenie teploty, mikropolohovanie alebo presné cyklické riadenie plynných fáz pri depozícii atómovej vrstvy (ALD) - vyvíjame pre vás riešenia na mieru.

Podporujeme vás, napríklad:

  • Regulácia teploty pre skľučovadlo doštičiek, procesnú komoru alebo plazmový generátor
  • Výťah a mikropolohovanie s detekciou sily
  • Ovládanie ventilov pre depozíciu atómovej vrstvy (ALD)
  • Bezpečné preplachovanie a regenerácia vákuových komôr
  • Pilotné ovládanie ventilov UHP na spoľahlivé riadenie procesných plynov

Vaše výhody v skratke

Poznáme zložité výzvy, ktorým čelia výrobcovia polovodičov, a ponúkame riešenia na mieru. Podporíme vás aj hlbokými praktickými odbornými znalosťami a našou globálnou sieťou podpory. Naši odborníci vám vždy pomôžu zlepšiť funkcie vašich systémov a minimalizovať prestoje.

Môžete sa na nás spoľahnúť ako na ideálneho partnera pre automatizáciu:

  • Vysoká spoľahlivosť pre bezpečnú a konzistentnú prevádzku vo všetkých procesných krokoch
  • Rýchla reakcia v kritických situáciách s analýzou príčin s využitím najmodernejšej technológie a minimalizáciou rizík
  • Technologicky otvorené riešenia s pneumatickými a elektrickými komponentmi
  • Zohľadnenie štandardov CopyExactly! s vlastným globálnym usmernením
  • Globálna podpora dodávateľského reťazca pre plynulý výrobný proces

Často kladené otázky

Akými riešeniami podporujeme našich partnerov v polovodičovom priemysle?

Naše automatizačné riešenia pre polovodičový priemysel sú zamerané na presnosť, energetickú účinnosť, inštalačný priestor a flexibilitu - od katalógových produktov až po špecifické riešenia, ktoré sa hodia do vášho systému presne podľa vašich špecifikácií. Okrem priemyselných noriem je kľúčovým predpokladom nákladová efektívnosť systému. Medzi naše hlavné oblasti patrí presné riadenie chladiacich okruhov pomocou ventilových terminálov a snímačov, zníženie spotreby dusíka pomocou inovatívnej piezoelektrickej technológie a efektívna manipulácia s plátkami a čipmi pomocou kompaktných modulárnych manipulačných systémov. Okrem toho náš systém Festo Automation Experience (Festo AX) využíva umelú inteligenciu na optimalizáciu výrobných procesov na základe údajov s cieľom zvýšiť kvalitu a efektívnosť. Pre špecifické aplikácie ponúkame riešenia na mieru, ako napríklad riadenie výťahov a prívod plynu pre procesy chemického leštenia. Týmto spôsobom podporujeme výrobcov polovodičov pri znižovaní výrobných nákladov, zvyšovaní dostupnosti systémov a zlepšovaní kvality výrobkov.

Pre koho je naša ponuka určená?

Naše automatizačné riešenia sú určené najmä pre celý polovodičový priemysel, prevádzkovateľov výrobných závodov, ako aj OEM výrobcov výrobných systémov a procesných inžinierov v oblasti prednej a čeľuste až po pokročilé balenie. Naše riešenia využívajú aj vývojári a projektanti komplexných systémov v oblasti elektroniky a mikrosystémových technológií.

Kde vo vašich systémoch/WFE alebo nástrojoch a strojoch môžete použiť naše riešenia?

Naše automatizačné riešenia sú určené na použitie v systémoch, zariadeniach na výrobu doštičiek (WFE) a nástrojoch na výrobu polovodičov, ako aj v subfabrikách. Patria sem komponenty a systémy na prívod plynu, chladiace okruhy, vákuové technológie a riešenia pohybu v čistých priestoroch. Vďaka kompaktným ventilovým terminálom, piezoelektrickej technológii a inteligentným snímačom podporujú naše komponenty stabilitu procesov a energetickú účinnosť. Naše automatizované systémy v subfabrikách prispievajú k bezpečnej, priestorovo úspornej a bezúdržbovej podpore kritických zásobovacích procesov. Možno rozlišovať medzi katalógovými produktmi vrátane komoditných produktov s veľmi dobrou celosvetovou dostupnosťou a riešením špecifickým pre zákazníka vytvoreným podľa vašich špecifikácií.

Aké odborné znalosti má spoločnosť Festo v oblasti čelnej jednotky, čeľuste a pokročilého balenia?

Máme dlhoročné rozsiahle skúsenosti v oblasti polovodičového frontu, čeľuste a pokročilého balenia. Veľká časť nášho portfólia výrobkov bola vyvinutá v úzkej spolupráci s priemyslom podľa vašich požiadaviek. Medzi zákazníkov spoločnosti Festo patria takmer všetky renomované medzinárodné továrne a výrobcovia OEM. Naše osvedčené a inovatívne produkty zahŕňajú riešenia na mieru pre každú z týchto výrobných fáz - od spracovania waferov až po montáž a balenie. Vďaka dôkladnej znalosti potrieb a výziev našich zákazníkov môžeme ponúknuť riešenia na mieru, ktoré spoľahlivo spĺňajú vysoké požiadavky na presnosť, čistotu a spoľahlivosť vo všetkých fázach výroby polovodičov.

Aké ďalšie výhody a služby ponúka spoločnosť Festo pre polovodičový priemysel?

Ako spoľahlivý partner polovodičového priemyslu ponúkame okrem našich automatizačných riešení aj technickú podporu, aplikačné poradenstvo a systémové riešenia na mieru pre špecifické výrobné požiadavky. Podporujeme vás aj digitálnymi službami, ako je monitorovanie stavu, prediktívna údržba a využívanie umelej inteligencie na optimalizáciu procesov. Školenia, celosvetová technická podpora a rýchle dodávky náhradných dielov tvoria okrúhly tvar našej ponuky služieb.

Ktoré z našich služieb a noriem sú pre výrobcov polovodičov mimoriadne dôležité?

Pre našich zákazníkov v polovodičovom priemysle sú obzvlášť dôležité naše výrobky kompatibilné s čistými priestormi, maximálna spoľahlivosť procesov a dlhá životnosť. Ak niečo nejde podľa plánu, môžete využiť rýchlu analýzu príčiny poruchy, ktorú spoločnosť Festo skúma pomocou moderných metód analýzy. Zaviedli sme tiež komplexný systém riadenia zmien a výbehových výrobkov, ktorý nám umožňuje plniť štandardné požiadavky odvetvia - napríklad "CopyExact!" (CE!) - splnené. Ponúkame aj výrobky pre aplikácie v čistých priestoroch, ktoré môžu byť na požiadanie balené dvakrát.