Yüksek vakumda tipik uygulamalar arasında biriktirme, aşındırma veya iyon implantasyonu gibi işlemler yer alır. Genellikle 10-⁶ ve 10-⁸ mbar arasındaki basınç aralıklarında gerçekleşirler ve malzeme direnci, sıcaklık kontrolü, hız ve proses gazı kontrolünün tekrarlama doğruluğu konusunda en yüksek talepleri ortaya koyarlar. Festo, yenilikçi bileşenler ve sistem çözümleri ile müşterilerini proses kalitelerini sağlamada, duruş sürelerini en aza indirmede ve maksimum verim elde etmede destekliyor. İster sıcaklığa dayanıklı gaz valfleri, ister düşük partiküllü gofret işleme veya enerji tasarruflu tahrikler olsun - mevcut sistemlere sorunsuz bir şekilde entegre edilebilen ve aynı zamanda daha fazla teknolojik gelişme için kapsam sunan çözümler sunuyoruz.
FOUP'ların 300 mm gofretler için nitrojenle doldurulması, oksidasyonu ve partikül kontaminasyonunu önlemek için taşıma kabının yıkanmasını içerir. EFEM'lerde, parçacıkları Modül içinde aşağıya doğru Bobinleyen ve böylece yonga plakası üzerinde parçacık kalmamasını sağlayan laminer bir akış oluşturulur.
Ürünlerimiz: VEAD, VEFC, VEMD gibi piezo teknolojisine sahip yüksek verimli valfler.
Atmosferik alan ve yüksek vakum arasındaki kilit, yük kilidi olarak adlandırılır, atmosferik basınçta bir yonga yerleştirilir, boşaltılır ve ardından transfer odasına yerleştirilir. Bitmiş yongalar de bu şekilde EFEM'e iade edilir. Bunu yapmak için yük kilidi tekrar hafifçe havalandırılır. Festo valfleri, rejenerasyon sürecini önceden tanımlanmış basınç eğrileri boyunca hassas bir şekilde kontrol eder. Bu da türbülansı, ısı gerilimlerini önler ve mekanik yükleri azaltır.
Önerilen ürünler: Akış kontrolörü VEAD, kütle akış kontrolörü VEFC
Festo, FOUP ve Load-Lock arasında gofret taşıma için bir "ters gantri "ye güveniyor. Bu Kartezyen robot, yongaların atmosferik bir ortamda güvenli ve hızlı bir şekilde hareket etmesini sağlar. Çözüm yerden tasarruf sağlar ve mevcut EFEM'lere entegrasyon için idealdir.
Önerilen ürünler: Elektrikli eksen ELGD
Her bir proses odası bir veya daha fazla ilişkili gaz kutusuna sahiptir. Bu, sistemin gerekli proses gazlarının kontrol edildiği veya yüksek saflıkta paslanmaz çelik vanalar kullanılarak gaz karışımlarının üretici olduğu kısmıdır.
Festo, bu uygulama için kurulum alanı, hizmet ömrü ve anahtarlama hızlarının tekrarlanabilirliği gereksinimlerini karşılayan özel valfler sunmaktadır.
Atomik katman biriktirme (ALD) sistemlerinde, gaz valflerine yönelik talepler özellikle yüksektir. Proses her zaman birkaç milisaniye içinde maksimum tekrarlama doğruluğuna sahip özdeş bir sıra gerektirir: proses gazlarının verilmesi ve ardından inert gazla durulama. Gazlı ortamın yüksek sıcaklıkları, valf teknolojisine yüksek bir yük bindirir. Tekrarlanabilir ve istikrarlı bir ALD süreci için ideal çözüm olarak, ortam valflerinin pilot kontrolü için özel MH2 hızlı anahtarlama valfi, 120 °C'ye kadar ortam sıcaklıkları için belgelendirilmiştir.
Önerilen ürünler: Hızlı anahtarlama valfi MH2
Yüksek vakumda kaldırma, yonganın tek bir tahrikle veya 3 senkronize tahriklerle işlem odası içinde düşük titreşimli konumlandırılmasını sağlar. Alt tabakanın titreşimsiz konum işaretleyicisi de bir mikrometreye kadar hassasiyetle mümkündür. Pnömatik bilimler düşük titreşimle çalışır ve böylece yonga yürümesi olarak adlandırılan durumu önler. Festo'nun çözümünün avantajı, sistemin yongayı ESC'den kaldırmak için gereken kuvveti tanımasıdır. Bu, yonga plakasında mikro çatlaklar oluşması ve hatta yonga plakasının tamamen kırılması riskini önemli ölçüde azaltır. Pnömatik bilim, elektrikli sistemlere göre daha kompakttır ve gerekli valf terminali ve kontrolü proses odasından daha uzak bir mesafeye konum işaretleyicisi ile konumlandırılabildiğinden, odaya yakın Motor gibi elektrikli bileşenleri azaltır.
Önerilen ürünler: Valf terminali VTEP, kontrol ünitesi CPX-E, sensör SDAT
Çözüm, transfer veya yarık vanalar olarak da bilinen normalde kapalı kontakları açarken ve kapatırken oluşan titreşimleri önemli ölçüde azaltır. Sistem, döngü süresini etkilemeden sorunsuz başlatma ve frenleme sağlar. Açılı vanalar da bu şekilde verimli bir şekilde kontrol edilebilir.
Kaldırmaözellikle kaplama sistemlerinde kullanılır. Sistem, işlem odasındaki alt tabaka veya gofretin plazma ve duş başlığına göre doğru konumda hizalanmasını sağlar.
Elektrikli çözümlere ek olarak, hizalamayı pnömatik bilimin bir tahrikiyle gerçekleştirme seçeneği de sunuyoruz. Buradaki avantaj, pnömatik bilimin genellikle daha küçük bir ayak izine sahip olması ve motor Sürücüleri veya Motorlar gibi ısı kaynaklarından tasarruf sağlamasıdır.
Birçok yarı iletken üretim prosesinde tam olarak doğru sıcaklık çok önemlidir. Bir yandan, elektro-statik yonga aynası (ESC), yongaları istikrarlı ve güvenli süreçler için gerekli sıcaklığa getirmek amacıyla hassas bir şekilde ısıtılmalıdır. Öte yandan, plazma jeneratörü veya proses odası gibi sistem bileşenlerinin uzun vadede güvenilirliklerini sürdürebilmeleri için soğutulması gerekir. VZXA valfi, soğutma ve ısıtma ortamını -80 °C ile +100 °C arasında güvenilir bir şekilde düzenler. Valfler esnek bir şekilde kullanılabilir - bireysel valfler olarak veya özelleştirilmiş valf bloklarında.
Önerilen ürünler: Y Valf VZXA
Her bir işlem odasının yanı sıra Yük Kilidi ve aktarım odasının da gerektiğinde normalde kapalı kontakları vardır. Bakım veya servis için kapağı güvenli bir şekilde açmak ve kapatmak mümkün olmalıdır. Festo, mevcut sistemlere esnek bir şekilde entegre edilebilen hem elektrikli hem de pnömatik bilimi çözümleri sunar. Gerekirse güvenlik teknolojisi eklenebilir.
Vakum uygulamaları için özelleştirilmiş otomasyon çözümlerimizle yarı iletken üretiminizin zorluklarının üstesinden gelin. Bu, kaliteyi ve döngü sürelerini artırırken ve verimi en üst düzeye çıkarırken mevcut süreçlerinizi sürdürülebilir bir şekilde stabilize etmenizi sağlar.
Teknolojilerimizle, rekabette karşılığını veren kaliteye güvenebilirsiniz:
"Piezo teknolojili valfler sayesinde azot tüketiminin indirgenmesi" başlıklı blog yazımızda, VEFC ve VEAD ile FOUP'ları Bobinler ile yıkarken azot tüketimini 75%'e kadar nasıl azaltabileceğinizi öğrenebilirsiniz. Bu valfler inert gazların dozajlanması için özel olarak geliştirilmiştir ve yüksek dinamizm, düşük partikül oluşumu ve uzun hizmet ömrü gibi avantajlar sunar.
Yarı iletken üretiminde, yüksek vakumlu prosesler ve biriktirme, iyon implantasyonu veya kuru aşındırma gibi wafer ön uç ekipmanı (WFE) özellikle yüksek saflık, gaz çıkışı ve güvenilirlik standartları gerektirir. Bu amaçla özel olarak geliştirilmiş otomasyon çözümleri sunuyoruz: yüksek sıcaklıklar veya agresif ortamlar gibi aşırı koşullar altında bile hassas ve güvenli bir şekilde çalışan vakum uyumlu tahrikler, valfler ve taşıma sistemleri. Bileşenlerimiz düşük parçacıklıdır ve dar kurulum alanlarına bile esnek bir şekilde entegre edilebilir. Yarı iletken endüstrisindeki uzun yıllara dayanan deneyimimizle, verimli, tekrarlanabilir ve arızaya karşı güvenli süreçler tasarlamanızda size destek oluyoruz.
Yüksek vakumlu proseslerde proses gazlarının güvenli kullanımı esastır. Söz konusu gazlar genellikle ya aşındırıcı ya da reaktiftir ve her zaman sağlığa zararlıdır. Kural olarak, mümkün olan en iyi tekrarlama doğruluğu ile hassas başlatma, ilgili işlem adımının başarısının Anahtarıdır. Bu, ister bir taşıyıcı gaz, ister bir temizleme gazı veya bir aşındırma prosesi ya da son derece dinamik bir ALD (Atomik Katman Biriktirme) prosesi için gerçek proses gazı olsun geçerlidir. Festo, klasik gaz çubukları veya yüksek sıcaklık uygulamaları için ALD valfleri gibi pnömatik Valflerinizin ekonomik kontrolü için size doğru çözümü sunar. Her uygulama için doğru vana teknolojisine sahibiz.
Yarık valflerin, sürgülü valflerin ve transfer valflerinin akıllı kontrolü, takımdaki titreşimi önemli ölçüde azaltır ve ayrıca partikül oluşumunu ve partikül kekemeliğini en aza indirir. Bu aynı zamanda valf Sızdırmazlık Elemanını da korur. Yarık ve valflere ek olarak, açılı vanalar da pnömatik bilimi ile kontrol edilebilir. Bir diğer önemli uygulama ise yük kilitleri gibi vakum odalarının rejenerasyonudur. Festo'nun inert gazlar için ekonomik kütle akış Kontrolörleri (MFC) güvenilir ve nazik bir şekilde rejenerasyon yapar.
İster 300 mm silikon gofretler, ister 150/200 mm SiC gofretler veya gelişmiş ambalajlardaki paneller olsun - alt tabakaların işlenmesi için özel çözümler sunuyoruz. Önemli bir uygulama, yüksek vakumlu odalar için pnömatik bilimi Forklift'imizdir. Bu, gofretlerin kontrollü kuvvetle, minimum enerji girdisiyle ve haznenin yakınında ek motor Sürücüleri olmadan nazikçe uçtan uca hareket ettirilmesine veya süreçte mikrometre düzeyinde konum işaretleyicisi olarak konumlandırılmasına olanak tanır. Diğer çözümler arasında ayaklı kaldırma ve dar alanlarda hassas hizalama için entegre hizalayıcılara sahip kompakt yonga plakası uç efektörleri bulunmaktadır.
Proses gazlarının, alt tabakaların ve proses bileşenlerinin hassas sıcaklık kontrolü, kaplama ve aşındırma proseslerinin kalitesi için çok önemlidir. Artan sıcaklıklar yarı iletken üreticileri için büyüyen zorluklar oluşturuyor. Örneğin yonga plakası aynalarının (elektrostatik aynalar / ESC), proses odalarının ve hatta plazma kaynaklarının veya RF jeneratörlerinin güvenli ve verimli bir şekilde soğutulabileceği veya temperlenebileceği akıllı sıcaklık kontrol çözümleri sunuyoruz. Sistemlerimiz, istikrarlı prosesler, daha yüksek verim ve sistemlerinizin daha uzun ömürlü olması için güvenilir sıcaklık kontrolü sağlar.