Bu fiyat baskısına dayanmanın bir yolu nitrojen tüketimini ve onu üretmek için gereken enerjiyi önemli ölçüde azaltmaktır. Azot, yarı iletken üretim sürecinde en yaygın kullanılan ortamdır. Büyük yarı iletken fabrikalarında nitrojen tüketimi saatte 50.000 metreküpe kadar çıkabilmektedir. Diğer şeylerin yanı sıra, ince levhaların işlenmek üzere bir makineden diğerine taşınması için kontrollü, kirlenmeyen bir ortam oluşturmak amacıyla FOUP'ları temizlemek için nitrojen kullanılır.
Fabrikada nitrojenin kullanıldığı alanların dikkatli bir şekilde analiz edilmesi ve tüketimin hedeflenen minimum düzeye indirilmesi, kısa sürede önemli tasarruflar sağlayabilir. Özellikle FOUP'ların yıkanması, kapalı bir kontrol döngüsü ile aktif dozajlama yoluyla nitrojenin verimli bir şekilde kullanılması için birçok fırsat sunar. Geleneksel vanalarla karşılaştırıldığında piezoelektrik yıkama vanaları yüksek hassasiyetle dozlama yapar ve aynı zamanda son derece az güç tüketir. Uygun sistemlerle büyük bir fabrikanın nitrojen tüketiminin yanı sıra buna bağlı enerji tüketimi ve CO2 emisyonları da önemli ölçüde azaltılabilir.
