VEAD ve VEFC valfleri ile FOUP'ların yıkanması sırasında nitrojen tüketimi %75'e kadar azaltılabilir. Bu çözümler, inert gazların dozajlanmasına yönelik uygulamalar için özel olarak tasarlanmıştır ve yüksek dinamizm, düşük partikül oluşumu ve uzun hizmet ömrü gibi avantajlar sunar.
Festo, teknik bir yenilik olarak bu kontrol valflerinde piezoelektrik bükücüler kullanıyor. Bu teknoloji, bir voltaj uygulayarak valfin kademesiz ve hassas bir şekilde kontrol edilmesini sağlar. Verimli piezo teknolojisinin kullanılması güç tüketimini de en aza indirir. Genel olarak, toplam azot tüketiminizde %18'e kadar tasarruf sağlayabilir ve CO emisyonlarını 2nneredeyse 1/5 oranında azaltabilirsiniz.