2022 年 9 月 14 - 16 日，全球半導體產業鏈的最重要一環「台灣」，迎來 SEMICON Taiwan 2022 國際半導體展。德國百年自動化大廠 Festo，秉持技術創新、推動永續發展和能源效率，以半導體製程前段的創新自動化解決方案、適用終端用戶的數位化工業軟體、以及能源管理和節能的得獎產品，為半導體行業提供一站式解決方案。
該設備體現了 Festo 的氣體控制在半導體行業 N2 Purge 的應用解決方案。在吹掃系統中，通過各類感測器和流量控制器進行配合，達到系統整合設計，並藉由壓電閥精準的比例式控制，達到準確的流量控制，且透過通訊實現數據蒐集與傳輸。
應用場合：Load Port / Slide Track Buffer / OHC Purge System / FOUP Stocker
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本應用針對半導體設備中，用於控制 Lift Pin 的波紋管氣缸，實現氣動技術在運行的時間、速度、精度的精準控制與監測，並且達到 wafer 平穩、同步的上下運行。
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特氣應用在廠務設備中氣瓶櫃、local scrubber 的氣體處理，該設備呈現了 Festo 四種特氣應用解決方案，包括 Auto Guard、強供閥 (強供模組)、Shut-Boy 模組、以及各式電磁閥。
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半導體廠生產過程中會使用各種氣體。Festo 的各式感測器與客製化解決方案，可提供流量或是壓差方式的測漏方案。進行即時監測，確保生產製程與品質的可靠性，也能幫助工廠節省成本。
亮點：
Festo Automation Experience (Festo AX) 是一種易於使用的解決方案，可讓您透過人工智慧 (AI) 和機器學習從系統生成的資料中提取最大價值，達到預測性維護 (predictive maintenance)、預測性能源和預測性品質。
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世界首創並獲得全球自動化獎的 MSE6-E2M 智慧型節能模組，監控處於非工作時間和非生產狀態的設備，並按照預設的控制邏輯，在待機待生產時關閉氣源，幫助終端使用者節省能耗成本、達成節能和 ESG 目標，還能提升 OEE 整體設備效率。
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