在 3 月 20 日 ~ 22 日 SEMICON China 展覽期間，Festo 帶著眾多半導體產業的創新自動化解決方案和產品，亮相上海新國際博覽中心（浦東）7 號館的 E7816 攤位。助力半導體產業的永續發展，打開創新思路，創造「芯」價值！
應用領域：
半導體或光電產業之鍍膜的生產線過渡腔室 (load-lock chamber) / 移載系統 (handling system) / 製程腔體 (process chamber)。
應用亮點：
應用領域：
針對半導體設備中，用於控制 Lift Pin 的波紋管氣缸。
應用亮點：
應用領域：
半導體晶圓濕式清洗製程。
應用亮點：
應用領域：
適用於 STOCKER、FOUP、OHT 和 STB 等各種晶圓輸送和儲存場合等需要微污染防治 (AMC Free) 的半導體晶片先進製程。
應用亮點：