在科技浪潮中，半導體作為核心驅動力，正以前所未有的速度重塑世界。針對半導體製造業面臨的各種挑戰，作為一家擁有百年歷史的全球自動化公司，Festo 始終堅持技術創新與卓越品質雙輪驅動，為半導體產業發展注入新動能。全球最大的半導體展 SEMICON China 將於 3 月 26 日 - 28 日在上海新國際博覽中心盛大開幕。此次，Festo 以「創芯共贏，智造價值」為主題，展示一系列先進的自動化解決方案和產業創新應用，助力半導體製造企業在“芯“浪潮中強勢突圍。我們誠摯邀請您親臨展覽現場，與我們面對面交流，共同探索半導體發展的無限可能。
展覽資訊
Festo 攤位：E6 館 6519
應用領域：半導體先進封裝
應用亮點：晶片傳送至塗膠區進行塗佈，塗佈完成後再傳送至熱壓合站，完成晶片和膠材的熱固化壓合。閉迴路力控制模組可精確控制壓力，確保壓合過程中不會對晶片造成損傷，大幅提升封裝製程的整體可靠性和生產效率。Festo AX 人工智能系統即時監測氣缸的健康值，為半導體產業智能生產保駕護航。
核心技術：
應用領域：半導體晶圓濕式清洗製程 ─ 應用於半導體前道製程段
應用亮點：在半導體濕式清洗過程中，壓電閥 VTEP 精確控制多個低摩擦氣缸同步運動，實現大尺寸晶圓清洗防護碗升降過程中速度和位置連續可調，防止清洗液濺出或殘留，避免交叉污染。升降控制的精確度和穩定性直接影響清洗效果。
核心產品：
應用領域：應用於半導體廠務製程段 (特氣櫃方案)
應用亮點：
核心產品：
應用領域：半導體光蝕刻、薄膜沉積等製程段
應用亮點：精準控制設備溫度的專用冷卻系統組件，維持設備在恆定的低溫或特定的溫度範圍內運行，以確保生產過程的穩定性和晶片良率。
應用領域：半導體或光電產業之鍍膜的生產線過渡腔室 (load-lock chamber) / 移載系統 (handling system) / 製程腔體 (process chamber)
應用亮點：
核心產品：
應用領域：適用於 EFFEM、STOCKER、FOUP、OHT 和 STB 等各種晶圓輸送和儲存場合等需要微污染防治的半導體晶片先進製程。
應用亮點：
應用產品：
應用領域：針對半導體設備中，用於控制 Lift Pin 的波紋管氣缸。
應用亮點：
應用產品：