展會資訊

時間：2026 年 3 月 25 日至 27 日

地點：上海新國際博覽中心（浦東龍陽路 2345 號）

Festo 展位：E7 館 7255 展位

鎖定 Festo 展位，見證「精準掌控」如何落地，為半導體產業發展注入全新動能。

展出亮點解決方案

液體回吸控制解決方案

• Festo 壓電技術實現精密壓力控制
• 智慧可調式回吸控制，真正達成零滴落、零汙染
• 數位化
• 使用壽命長、維護成本低
• 模組化整合

「非接觸式」晶圓翹曲解決方案

• 靈活適配不同晶圓翹曲場景，提升良率
• Festo 壓電技術實現多迴路精準壓力控制
• 標準化、高性價比方案
• Festo 專利技術

Transfer Valve 門閥開關控制方案

• 大幅降低門閥開關時的衝擊力，運行更平穩
• 密封件壽命顯著延長，減少設備停機時間
• 設備節拍不降反升，提升整體產能
• Festo 控氣動演算法結合標準化硬體，實現快速整合

微米級氣動定位控制系統

• 在提升運動速度的同時，確保定位精準與設備穩定性
• 支援多種標準氣動執行元件，靈活適配不同製程需求
• 一體化智慧氣動控制，提供從硬體到演算法的完整閉迴路定位控制方案