微晶片檢測

半導體行業的自動化

在短短 18 個月內,您目前建立的系統必須生產出比現在製造晶片複雜兩倍的晶片,但仍以相同的價格出售。這只能透過可靠且經濟實惠的自動化解決方案來實現。我們深知整個系統可用性對半導體和電子元件製造商有多重要。您需要哪些產品和服務?我們在全球為您服務。

應用:控制和調節冷卻回路

您面臨的挑戰:在半導體製造過程中可靠地調節冷卻液

Festo 的解決方案:

  • 閥島 VTUG 和 VTOC (1) 用於可靠地控制介質的氣控閥
  • CPX-MPA 型閥島 如果需要額外的 I/O,例如用來控制電控閥、整合感測器或建立閉環控制回路。此閥島還可用於執行診斷和遠端維護功能。
  • 氣控或電控 閥 VZXA、VZQA 和 VZWF (3) 控制介質流量。即使在閉環控制回路中,也能可靠、準確地調節非常冷和/或熱的介質。
  • 角行程驅動器 DFPD(4) 驱动 球閥 VZBF (5) 以及通常用於冷卻或溫度控制介質的主管線和進/出管線的大流量翻板閥。
  • SFAW (2) 和 SPAW (6) 型感測器 非常準確地測量介質流量以及溫度和壓力。

半導體行業產品

Festo 為製造電子元件的機器提供了廣泛的產品組合:具有整合安全功能的閥島 VTOC 或我們的比例調壓閥 VEAA/VEAB(用於對通常控制或調節工藝氣體的介質閥進行嚮導控制)。

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