壓電技術的原理與電磁閥完全不同。其核心元件是壓電陶瓷。當壓電陶瓷帶電時，就會發生極化並彎曲。這種彎曲與施加的電壓成正比，因此可以實現成比例的流量或壓力控制。所以電壓越高，流量就越大。其電流消耗曲線看上去與比例電磁閥完全不同，比例電磁閥的線圈必須始終通電， 只有這樣才能產生磁場，藉以將電樞從閥座上抬起。相比之下，壓電閥無需恆定的電流。它像電容器那樣工作。最初的電流足以為陶瓷一次性充滿電，之後電流消耗幾乎為零。
壓電閥的構造非常簡單。它們由具有連接埠的外殼組成，外殼中澆鑄有噴嘴。氣體透過這些噴嘴流入或流出。這種閥門具有一個或兩個由壓電陶瓷製成的彎曲驅動器，在每個彎曲驅動器上都有一個用於復位的彈簧。
二口二位閥可以方便地控制流量。它具有一個彎曲驅動器和兩個連接埠。它打開的幅度取決於施加了多少電壓。
三口三位閥具有三個連接埠和兩個彎曲驅動器。藉由這種精巧型解決方案能夠實現完全的壓力控制。三口三位閥具有一個用於換氣或增壓的彎曲驅動器，和一個用於排氣或降低壓力的彎曲驅動器。第三種狀態是關閉。然後壓力將被保持。三口三位閥可以方便地控制壓力。此類三口三位功能是電磁閥所不具備的。
如前所述，壓電閥不是在 12 V 電壓下工作，而是需要特殊的電子裝置。為了大幅簡化這種控制，Festo 開發了一個新的解決方案，即 VAVE-P 壓電驅動器電子裝置，它完全符合壓電規範。
VAVE-P 在 12 至 24 V 電壓下正常運轉，並產生壓電電壓。它包含了壓電閥控制系統所需的一切元件，包括簡單的開迴路控制電子元件、310 V 電壓產生裝置和具有電流限制的雙通道壓電驅動器。
這種雙通道電子裝置可以控制兩個閥門進行流量控制，或控制一個三口三位閥進行壓力控制，並對換氣和排氣進行單獨控制。
他們的介面相同，具有兩個類比輸入端和可變的 12 至 24 V 電源。如此即可取代比例電磁閥。
我們還有其他解決方案，其包含了用於完全控制流量或壓力的所有元件。Festo 的精巧型 VEMD 流量控制器結合了壓電閥、流量感測器和控制電子裝置。如此即可實現輸入電壓和輸出流量之間的絕對線性關系。
The counterpart for regulating pressure is the proportional pressure regulator VEAB with two piezo valves, in each case with one piezo bender for pressurisation and one for exhausting. Then there is also the electronics and a pressure sensor. This provides a complete closed-loop pressure control solution in the smallest installation space.