在短短 18 個月內,您目前建立的系統必須生產出比現在製造晶片複雜兩倍的晶片,但仍以相同的價格出售。這只能透過可靠且經濟實惠的自動化解決方案來實現。我們深知整個系統可用性對半導體和電子元件製造商有多重要。您需要哪些產品和服務?我們在全球為您服務。
您面臨的挑戰:在半導體製造過程中可靠地調節冷卻液
Festo 的解決方案:
Festo 為製造電子元件的機器提供了廣泛的產品組合:具有整合安全功能的閥島 VTOC 或我們的比例調壓閥 VEAA/VEAB(用於對通常控制或調節流程氣體的介質閥進行嚮導控制)。
應用領域:
半導體或光電產業之鍍膜的生產線過渡腔室 (load-lock chamber) / 移載系統 (handling system) / 製程腔體 (process chamber)
應用亮點:
訂製方案:
半導體行業 EFEM 晶圓傳送設備內,數字控制終端系統對 FOUP 載具填充惰性氣體的應用解決方案,能顯著有效降低閥門開關時產生的污染微粒。
應用領域:
適用於 STOCKER、FOUP、OHT和STB等各種晶圓輸送和儲存場合等需要微污染防治 (AMC Free) 的半導體晶片先進製程。
應用亮點:
訂製方案:
應用領域:
針對半導體設備中,用於控制 Lift Pin 的波紋管氣缸。
應用亮點:
實現氣動技術在運行的時間、速度、精度的精準控制與監測,並且達到 wafer 平穩、同步的上下運行,行程時間更穩定,減少機器意外停機。將 Lift Pin 調整標準化,取代以往的盲目調整,節省維修時間。
訂製方案:
應用領域:
半導體特殊氣體供應和化學打磨氣體控制單元,都是應用於半導體前段過程。
應用亮點:
無需動力源,仍能切斷氣體鋼瓶的氣體供應;採用特殊的或閥設計,使系統控制不中斷;熱插拔功能,無需關閉氣源即可更換電磁閥。
訂製方案:
在決定選擇 Festo 之前歡迎諮詢專家的意見 請使用此連結分享我們建議的解決方案和應用範例