採用卓越的自動化解決方案完善您的半導體生產製程，在實現穩定流程和超高精度的同時，盡可能降低空間需求。 做為晶片與半導體行業的優秀合作夥伴，Festo 對企業面臨的各項挑戰瞭若指掌。 我們為將您提供卓越的標準元件和客製化解決方案，這些產品不但創意十足，而且能夠與您的製程和裝置完美契合。 在顆粒產生和排氣等領域，Festo 能夠提供符合相關業界標準的解決方案。
您面臨的挑戰：在半導體製造過程中可靠地調節冷卻液
Festo 的解決方案：
Festo 為製造電子元件的機器提供了廣泛的產品組合：具有整合安全功能的閥島 VTOC 或我們的比例調壓閥 VEAA/VEAB（用於對通常控制或調節流程氣體的介質閥進行嚮導控制）。
應用領域：
半導體或光電產業之鍍膜的生產線過渡腔室 (load-lock chamber) / 移載系統 (handling system) / 製程腔體 (process chamber)
應用亮點：
訂製方案：
半導體行業 EFEM 晶圓傳送設備內，數字控制終端系統對 FOUP 載具填充惰性氣體的應用解決方案，能顯著有效降低閥門開關時產生的污染微粒。
應用領域：
適用於 STOCKER、FOUP、OHT和STB等各種晶圓輸送和儲存場合等需要微污染防治 (AMC Free) 的半導體晶片先進製程。
應用亮點：
訂製方案：
應用領域：
針對半導體設備中，用於控制 Lift Pin 的波紋管氣缸。
應用亮點：
實現氣動技術在運行的時間、速度、精度的精準控制與監測，並且達到 wafer 平穩、同步的上下運行，行程時間更穩定，減少機器意外停機。將 Lift Pin 調整標準化，取代以往的盲目調整，節省維修時間。
訂製方案：
應用領域：
半導體特殊氣體供應和化學打磨氣體控制單元，都是應用於半導體前段過程。
應用亮點：
無需動力源，仍能切斷氣體鋼瓶的氣體供應；採用特殊的或閥設計，使系統控制不中斷；熱插拔功能，無需關閉氣源即可更換電磁閥。
訂製方案：
在決定選擇 Festo 之前歡迎諮詢專家的意見 請使用此連結分享我們建議的解決方案和應用範例
Festo 自動化解決方案不但品質卓越，而且能夠客製化；選擇 Festo 解決方案，表示從前段製程到後段製程，再到混合鍵合等先進封裝，都能採用富有競爭力的創新技術。 這些技術能夠大幅減少污染，也可確保各項流程可靠執行，長期保持優秀良品率。 歸功於其結構設計，通常可以降低能源成本並減少生態足跡。
Festo 自動化解決方案致力於為半導體產業實現穩定產量和高經濟效益。 我們的解決方案元件設計巧妙，具有極強的適應性和可擴展性。 您可以隨時根據不斷變化的生產需求，輕鬆、快速做出因應。
Festo 自動化解決方案具有下列優勢：
選擇我們的整合解決方案，讓您的流程持續穩定且具可重複性。 歸功於半導體專用密封件和潤滑脂，可以盡可能減少漏氣，實現所需的製程步驟。 無論是個別溫度控制、微米級定位，或是在原子層沉積（ALD）中精確的氣相週期控制，我們都為您開發量身打造的解決方案。
Festo 解決方案支援的應用範例：
Festo 對半導體製造商面臨的各種複雜挑戰瞭如指掌，致力於為其量身打造解決方案， 並採用紮實的實務專業知識及全球支援網絡為您提供協助。 Festo 專家隨時待命，在改善裝置功能、縮短停機時間方面為您提供支援。
Festo 是優秀的自動化合作夥伴：
我們為半導體產業提供的自動化解決方案一貫注重精度、能效、安裝空間和靈活性 — 從目錄產品，一直到量身打造能精準按照您的規格整合到裝置中的解決方案。 除了業界標準之外，系統成本效益也是一個重要前提。 Festo 提供核心技術，利用閥島和感測器對冷卻迴路進行精確控制，透過創新型壓電技術減少氮氣消耗，以及使用精巧型模組化運輸系統高效搬運晶圓和晶片等。 此外，Festo Automation Experience (Festo AX) 也採用 AI 技術，基於資料優化生產流程，達到提高品質和效率的目的。 針對特殊應用，我們提供客製化解決方案，例如頂針升降控制和化學拋光製程氣體供應等。 這些解決方案不但能為半導體製造商降低生產成本，也可提高裝置可用性和產品品質。
Festo 自動化解決方案面向整個半導體產業，涵蓋晶圓廠業者、製造設備的原始設備製造商（OEM），以及從前段製程到後段製程乃至先進封裝的製程工程師。 此外，電子和微系統技術領域複雜裝置的開發人員和規劃人員，也能利用我們的解決方案一展身手。
Festo 自動化解決方案設計用於半導體生產區域的裝置、晶圓製造設備和工具，以及 SubFab 流程。 其中包括無塵室中用於氣體供應、冷卻迴路、真空技術和行動解決方案的元件和系統等。 Festo 元件憑藉精巧型閥島、壓電技術和智慧感測器，協助提升製程穩定性與能源效率。 在 SubFab 區域，Festo 自動化系統可以為關鍵供應流程提供支援，且具有安全、節省空間、低維護等優點。 我們將根據您的規格量身打造解決方案，它們與產品目錄中的產品 — 包括暢銷全球的產品在內 — 存在一定區別。
我們在半導體的前段、後段和先進封裝方面擁有多年豐富經驗。 在 Festo 產品組合中，有很大一部分是根據客戶需求，與工業領域密切合作開發出的成果。 Festo 客戶群涵蓋幾乎所有知名國際大廠和原始設備製造商。 我們經驗豐富且創新的產品，包括針對每個生產階段量身訂製的解決方案—從晶圓加工、組裝到封裝。 我們對客戶的需求以及面臨的挑戰瞭如指掌，為其量身訂製的解決方案能夠可靠地滿足半導體生產中各個階段對精度、清潔度和可靠性的嚴苛要求。
做為半導體行業值得信賴的合作夥伴，Festo 除自動化解決方案以外，還提供工程支援、應用諮詢以及針對特定生產需求量身打造的系統解決方案。 此外也提供狀態監測、預測性維護和使用 AI 優化流程等數位化服務， 訓練、全球技術支援和備件快速交貨等亦在 Festo 的服務範圍之內。
半導體產業的客戶尤其看重 Festo 提供的無塵室相容產品，其具有超高的過程安全性和使用壽命。 一旦出現計劃外狀況，Festo 會採用先進的分析方法，對故障原因進行快速分析，大幅度縮短停機時間。 除此之外，Festo 也實施一整套變更和停產管理體系，使我們能夠滿足您所在產業的標準要求，例如「CopyExact!」。 (Corporate Engineering!) - fulfil.CE!）。 Festo 也提供無塵室應用適用的產品，且可根據要求進行雙重包裝。