採用卓越的自動化解決方案完善您的半導體生產製程，在實現穩定製程和超高精度的同時，盡可能降低空間需求。 作為晶片與半導體產業的優秀合作夥伴，Festo 對企業面臨的各項挑戰瞭若指掌。我們為將您提供創新的標準元件和客製化解決方案，完美融入您的製程與系統。在顆粒產生和排氣等領域，Festo 能夠提供符合相關業界標準的解決方案。
Festo 自動化解決方案不但品質卓越，而且能夠客製化；選擇 Festo 解決方案，表示從前段製程到後段封裝，再到混合鍵合等先進封裝，都能採用富有競爭力的創新技術。 這些技術能夠有效降低污染風險，確保設備穩定可靠運行，從而長期維持良率。歸功於其結構設計，您還能有效降低能源成本並減少生態足跡。
應用領域：
半導體或光電產業之鍍膜的生產線過渡腔室 (load-lock chamber) / 移載系統 (handling system) / 製程腔體 (process chamber)
應用亮點：
訂製方案：
半導體行業 EFEM 晶圓傳送設備內，數字控制終端系統對 FOUP 載具填充惰性氣體的應用解決方案，能顯著有效降低閥門開關時產生的污染微粒。
應用領域：
適用於 STOCKER、FOUP、OHT和STB等各種晶圓輸送和儲存場合等需要微污染防治 (AMC Free) 的半導體晶片先進製程。
應用亮點：
訂製方案：
應用領域：
針對半導體設備中，用於控制 Lift Pin 的波紋管氣缸。
應用亮點：
實現氣動技術在運行的時間、速度、精度的精準控制與監測，並且達到 wafer 平穩、同步的上下運行，行程時間更穩定，減少機器意外停機。將 Lift Pin 調整標準化，取代以往的盲目調整，節省維修時間。
訂製方案：
應用領域：
半導體特殊氣體供應和化學打磨氣體控制單元，都是應用於半導體前段過程。
應用亮點：
無需動力源，仍能切斷氣體鋼瓶的氣體供應；採用特殊的或閥設計，使系統控制不中斷；熱插拔功能，無需關閉氣源即可更換電磁閥。
訂製方案：
Festo 自動化解決方案致力於為半導體產業實現穩定產量和高經濟效益。 我們的解決方案元件設計巧妙，具有極強的適應性和可擴展性。 您可以隨時根據不斷變化的生產需求，輕鬆、快速做出因應。
Festo 自動化解決方案具有下列優勢：
選擇我們的整合解決方案，讓您的流程持續穩定且具可重複性。 歸功於半導體專用密封件和潤滑脂，可以盡可能減少漏氣，實現所需的製程步驟。 無論是個別溫度控制、微米級定位，或是在原子層沉積（ALD）中精確的氣相週期控制，我們都為您開發量身打造的解決方案。
Festo 解決方案支援的應用範例：
Festo 對半導體製造商面臨的各種複雜挑戰瞭如指掌，致力於為其量身打造解決方案， 並採用紮實的實務專業知識及全球支援網絡為您提供協助。 Festo 專家隨時待命，在改善裝置功能、縮短停機時間方面為您提供支援。
Festo 是優秀的自動化合作夥伴：