精確控制惰性氣體：性價比之選
質流控制器 VEFC 尤其適合用於半導體工業，但也適用於需要精確控制惰性氣體的場合。VEFC 結構非常精巧，擴展了氣控邏輯元件產品組合。同時，它也具有壓電閥的所有優點：動態性能超高、無段精度、超低電耗、超低發熱、無需手動調節即可穩定流量 ─ 具有極高的性價比。
經濟、安全、精確的氮氣吹掃
將 VEFC 安裝在負載端口，即可在單個吹掃步驟中調節不同流量。在預吹氣、預吹掃、過程吹掃和後吹掃過程中，VEFC 可確保只消耗絕對必要的氮氣量。如此一來就能節省氮氣，縮短過程時間，直至達到乾燥的保護氣體環境。
