Один із способів протистояти такому ціновому тиску — значно зменшити споживання азоту та енергію, необхідну для його виробництва. Азот є найбільш часто використовуваним середовищем у процесі виробництва напівпровідників. На великих напівпровідникових заводах споживання азоту може досягати 50 000 кубічних метрів на годину. Крім усього іншого, азот використовується для очищення FOUP, щоб створити контрольоване, вільне від забруднень середовище для пластин, які транспортуються від однієї машини до іншої для обробки.

Ретельний аналіз ділянок, де використовується азот на заводі, і цілеспрямована мінімізація споживання можуть призвести до значної економії за короткий період часу. Зокрема, промивання FOUPs пропонує багато можливостей для ефективного використання азоту за допомогою активного дозування із замкнутим контуром керування. У порівнянні зі звичайними клапанами, п’єзоелектричні клапани дозують з високою точністю і водночас споживають надзвичайно мало електроенергії. За допомогою відповідних систем споживання азоту великою фабрикою, а також пов’язане з цим споживання енергії та викиди CO2 можуть бути значно зменшені.

Torsten Schulz, Head of Global Industry Segment Electronics

Про авторів

Torsten Schulz
Head of Global Industry Segment Electronics
Festo SE & Co. KG

Tobias Glattbach, Global Industry Segment Electronics


Tobias Glattbach
Global Industry Segment Electronics
Festo SE & Co. KG

Більше статей про виробництво напівпровідників