За допомогою клапанів VEAD і VEFC споживання азоту під час промивання FOUPs може бути зменшено до 75%. Ці рішення спеціально розроблені для дозування інертних газів і мають такі переваги, як висока динаміка, низький рівень утворення частинок і тривалий термін служби.


Festo використовує п'єзоелектричні згинаючі елементи в цих регулювальних клапанах як технічну інновацію. Ця технологія забезпечує безступінчасте, точне керування клапаном шляхом подачі напруги. П'єзотехнологія пропонує такі переваги, як висока динаміка, низький рівень утворення частинок і тривалий термін служби.

Використання ефективної п'єзотехнології також мінімізує енергоспоживання. Загалом ви можете заощадити до 18% загального споживання азоту та скоротити викиди CO2 майже на 1/5.


Подивіться відео, щоб дізнатися більше про те, як ви можете використовувати ці два продукти у своєму виробництві, щоб значно скоротити споживання енергії та азоту.

Цікаві статті