За допомогою клапанів VEAD і VEFC споживання азоту під час промивання FOUPs може бути зменшено до 75%. Ці рішення спеціально розроблені для дозування інертних газів і мають такі переваги, як висока динаміка, низький рівень утворення частинок і тривалий термін служби.
Festo використовує п'єзоелектричні згинаючі елементи в цих регулювальних клапанах як технічну інновацію. Ця технологія забезпечує безступінчасте, точне керування клапаном шляхом подачі напруги. Використання ефективної п'єзотехнології також мінімізує енергоспоживання. Загалом ви можете заощадити до 18% загального споживання азоту та скоротити викиди CO2 майже на 1/5.