Застосування: Контроль і регулювання контурів охолодження
Ваша задача: надійний контроль охолоджуючого середовища у виробництві напівпровідників
Рішення від Festo:
- Пневмоострови VTUG і VTOC (1) для надійного керування клапанами з різними середовищами
- Пневмоострови типу CPX-MPA , якщо потрібні додаткові вводи/виводи, наприклад, для керування електричними клапанами, інтеграції датчиків або встановлення замкнутих ланцюгів керування. Завдяки цьому також можуть бути реалізовані функції діагностики та дистанційного обслуговування.
- Клапани з пневматичними або електричними приводами типів VZXA, VZQA, VZWF (3) контролюють потоки середовищ. Навіть у замкнутих циклах дуже холодні та/або гарячі середовища контролюються надійно та точно.
- Поворотний привід DFPD (4) приводить в дію Кульові крани VZBF (5) і засувки, які зазвичай використовуються в магістралях або в лінії подачі/розподілу середовища для охолодження/регулювання температури з високими швидкостями потоку.
- Давачі типу SFAW (2) і SPAW (6) з високою точністю вимірюють швидкість потоку, температуру середовища та тиск середовища.
Продукція для напівпровідникової промисловості
Festo має широкий асортимент продукції для машин що використовуються для виробництва електронних компонентів: пневмоострови VTOC з інтегрованою функцією безпеки або наші пропорційні клапани регулювання тиску VEAA/VEAB для пілотного керування клапанами для різних середовищ, такими як ті, які зазвичай використовуються для контролю або регулювання технологічних газів.
Ділимося знаннями про напівпровідникову промисловість
Проконсультуйтеся зі своїми фахівцями, перш ніж прийняти рішення на користь Festo. Ви можете легко поширити запропоновані нами рішення та приклади застосування: за цим посиланням