FOUP cung cấp một môi trường kín để vận chuyển và lưu trữ tấm wafer giữa các bước của quy trình. Việc sục khí N₂ giúp duy trì môi trường bảo vệ cần thiết bên trong FOUP và hạn chế sự tiếp xúc với oxy trong khí quyển và các chất gây ô nhiễm trong không khí.
Thách thức không chỉ đơn thuần là giảm lưu lượng nitơ. Lưu lượng cần phải phù hợp với yêu cầu của quy trình làm sạch, đồng thời tránh tiêu thụ không cần thiết.
Do đó, cần kiểm soát chính xác lưu lượng và áp suất của nitơ để đảm bảo nguồn cung có thể đáp ứng một cách đáng tin cậy trước những thay đổi về điều kiện quy trình.
Thiết bị uốn áp điện chuyển đổi điện áp thành chuyển động cơ học chính xác. Điều này cho phép áp suất hoặc lưu lượng được điều chỉnh liên tục và chính xác trong khi chỉ tiêu thụ rất ít điện năng.
Van điều khiển tỉ lệ áp suất VEAD và bộ điều khiển lưu lượng khối VEFC sử dụng nguyên lý này để kiểm soát các loại khí trơ như nitơ. Nhờ sự điều chỉnh chính xác, phản hồi nhanh và lượng hạt sinh ra thấp, chúng phù hợp cho các ứng dụng bán dẫn nhạy cảm.
Lưu lượng không đổi hoặc cao thường cung cấp lượng nitơ nhiều hơn mức cần thiết. Hệ thống điều khiển dựa trên công nghệ piezo điều chỉnh lưu lượng N₂ chính xác hơn theo nhu cầu thực tế của quy trình.
Trong một phép tính mẫu của Festo, việc điều chỉnh lưu lượng đã giúp giảm tốc độ sục khí từ 20 xuống còn 5 SLPM mỗi FOUP, tương ứng với mức giảm lên đến 75%. Mức tiết kiệm thực tế phụ thuộc vào yêu cầu quy trình và điều kiện vận hành.
Hệ thống kiểm soát áp suất hoặc lưu lượng dựa trên công nghệ piezo có thể đặc biệt hữu ích khi ứng dụng yêu cầu:
Việc làm sạch OUP là một phần của môi trường sản xuất chất bán dẫn rộng lớn hơn. Các yêu cầu tự động hóa liên quan phụ thuộc vào thiết bị và khu vực quy trình.
Đối với các ứng dụng liên quan đến quy trình lắng đọng, khắc, cấy ion và thiết bị xử lý tấm wafer tương ứng, hãy khám phá các quy trình chân không cao trong sản xuất chất bán dẫn.
Đối với việc làm sạch FOUP và các ứng dụng sục khí N₂ khác trong môi trường quy trình khí quyển, hãy khám phá các quy trình khí quyển trong sản xuất chất bán dẫn.