Application : contrôle et régulation des circuits de refroidissement
Votre défi : réguler de manière fiable le fluide de refroidissement dans la production de semi-conducteurs
La solution Festo :
- Terminaux de distributeurs VTUG et VTOC (1) pour une commande fiable des vannes pneumatiques pour fluides
- Terminal de distributeurs de type CPX-MPA, lorsque des E/S supplémentaires sont nécessaires, par exemple pour contrôler des distributeurs électriques, pour intégrer des capteurs ou pour mettre en place des boucles de régulation fermées. Des fonctions de diagnostic et de maintenance à distance peuvent également être implémentées dans ce contexte.
- Des distributeurs à commande pneumatique ou électrique de type VZXA, VZQA, VZWF (3) contrôlent le flux de liquide. Les fluides très froids et/ou chauds sont également régulés de manière fiable et précise dans une boucle de régulation fermée.
- Le vérin quart de tour DFPD (4) actionne les vannes à boisseau sphérique VZBF (5) et les distributeurs à clapet qui sont généralement utilisés dans la conduite principale ou dans la conduite d'alimentation/d'évacuation du fluide de refroidissement/réchauffement en raison du débit élevé.
- Les capteurs SFAW (2) et SPAW (6) mesurent le débit, la température ou la pression du fluide avec une grande précision.
Produits pour l'industrie des semi-conducteurs
Festo dispose d'une large gamme de produits pour les machines de production de composants électroniques : le terminal de distributeurs VTOC avec fonction de sécurité intégrée ou nos réducteurs de pression proportionnelle VEAA/VEAB pour le pilotage de vannes de fluides généralement utilisées dans la commande ou la régulation des gaz de process.
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