Automatisering in de halfgeleiderindustrie

Precisie en prestaties voor optimale productiedoorvoer

Perfectioneer uw halfgeleiderproductie met ideale automatiseringsoplossingen - voor stabiele processen, maximale precisie en minimale benodigde ruimte. Als partner van de chip- en halfgeleiderindustrie kennen we uw uitdagingen. We ondersteunen u met zowel innovatieve standaardcomponenten als op maat gemaakte oplossingen die perfect in uw proces en installatie passen. Onze oplossingen houden rekening met industriële normen, zoals deeltjesvorming of uitgassing.

Met onze hoogwaardige en gemakkelijk aanpasbare automatiseringsoplossingen kunt u innovatieve, concurrerende technologieën van de front-end tot back-end gebruiken voor advanced packaging , zoals hybrid bonding. Ze zijn geoptimaliseerd om vervuiling tot een minimum te beperken, betrouwbaar te werken en zo uw Yield op lange termijn te behouden. Dankzij hun constructieve ontwerp kun je vaak energiekosten en je ecologische voetafdruk verminderen.

Oplossingen die uw processen permanent stabiel en reproduceerbaar houden

Onze automation-oplossingen zorgen voor een stabiel en dus economisch rendement bij de productie van halfgeleiders. Het slimme design van onze componenten maakt ze ook bijzonder aanpasbaar en schaalbaar. Hierdoor kunt u op elk moment snel en eenvoudig reageren op veranderende productievereisten.

U profiteert van deze voordelen met onze automation oplossingen:

  • Zeer nauwkeurige besturing van beweging, druk en debiet van de media
  • Clean design voor noodzakelijke zuiverheid en deeltjesemissie
  • Ruimtebesparend design voor compacte inbouwomgevingen
  • Minimaal energieverbruik en minder warmteontwikkeling
  • AI/IoT-ready
  • Betrouwbare wereldwijde beschikbaarheid dankzij lokale productie en levering
  • Voldoen aan de vereisten van CopyExactly!
  • Persoonlijke ondersteuning door experts voor processpecifieke uitdagingen
  • Semicon-specifieke vetten en afdichtingen om ongewenste uitgassing te voorkomen

Produceer met herhaalnauwkeurigheid en controle in realtime met behulp van AI

Vertrouw op onze holistische oplossingen om uw processen op lange termijn stabiel en reproduceerbaar te houden. Dankzij onze Semicon-specifieke afdichtingen en vetten profiteert u ook van minimale uitgassing voor ideale procesverlopen. Of het nu gaat om individuele temperatuurregeling, micropositionering of nauwkeurige cyclische regeling van de gasfasen bij atomic layer deposition (ALD) - wij ontwikkelen oplossingen op maat voor u.

We ondersteunen je bijvoorbeeld met

  • Temperatuurregeling voor wafer chuck, proceskamer of plasmagenerator
  • Pin lift en micropositionering met krachtdetectie
  • Ventielsturing voor atomic layer deposition(ALD)
  • Veilig zuiveren en regenereren van vacuümkamers
  • Voorsturing van UHP ventielen voor betrouwbare regeling van procesgassen

Uw voordelen in een overzicht

We kennen de complexe uitdagingen van halfgeleiderfabrikanten en bieden oplossingen op maat. We ondersteunen je ook met diepgaande praktische knowhow en ons wereldwijde support netwerk. Onze experts helpen u altijd om de functies van uw installaties te verbeteren en stilstand tot een minimum te beperken.

U kunt op ons rekenen als uw ideale automation partner:

  • Hoge betrouwbaarheid voor een veilige en consistente werking in alle processtappen
  • Snelle reactie in kritieke situaties met analyse van de hoofdoorzaak met behulp van de nieuwste technologie en risicominimalisatie
  • Technologie-open oplossingen met pneumatische en elektrische componenten
  • Overweging van de CopyExactly! standaarden met een eigen globale richtlijn
  • Wereldwijde ondersteuning van de toeleveringsketen voor een soepel productieproces

FAQs

Met welke oplossingen ondersteunen we onze partners in de halfgeleiderindustrie?

Onze automatiseringsoplossingen voor de halfgeleiderindustrie zijn gericht op precisie, energie-efficiëntie, inbouwruimte en flexibiliteit - van catalogusproducten tot specifieke oplossingen die precies volgens uw specificaties in uw installatie passen. Naast de industrienormen is de kosteneffectiviteit van het systeem een belangrijke voorwaarde. Onze kernactiviteiten omvatten de nauwkeurige besturing van koelcircuits met behulp van ventieleilanden en sensoren, de vermindering van stikstofverbruik door innovatieve piëzotechnologie en de efficiënte handling van wafers en chips met compacte, modulaire handlingsystemen. Daarnaast maakt onze Festo Automation Experience (Festo AX) gebruik van AI om op gegevens gebaseerde optimalisatie van productieprocessen mogelijk te maken en zo de kwaliteit en efficiëntie te verhogen. Voor specifieke toepassingen bieden we oplossingen op maat, zoals de besturing van pin lifters en de gastoevoer voor chemische polijstprocessen. Op deze manier ondersteunen we halfgeleiderfabrikanten bij het verlagen van de productiekosten, het verhogen van de beschikbaarheid van installaties en het verbeteren van de productkwaliteit.

Voor wie is ons aanbod bedoeld?

Onze automatiseringsoplossingen zijn met name gericht op de gehele halfgeleiderindustrie, exploitanten van fabs en OEM's van productie-installaties en procesingenieurs in front-end en b&ck-end tot en met Advanced Packaging. Ontwikkelaars en planners van complexe installaties in de elektronica- en microsysteemtechnologie profiteren ook van onze oplossingen.

Waar in uw installaties/WFE of tools en machines kunt u onze oplossingen gebruiken?

Onze automatiseringsoplossingen zijn ontworpen voor gebruik in installaties, wafer fabrication equipment (WFE) en tools voor halfgeleiderproductie en in de SubFfab. Dit omvat componenten en systemen voor gastoevoer, koelcircuits, vacuümtechniek en bewegingsoplossingen in cleanrooms. Met compacte ventieleilanden, piëzotechnologie en intelligente sensoren ondersteunen onze componenten processtabiliteit en energie-efficiëntie. In de SubFab dragen onze geautomatiseerde systemen bij aan de veilige, ruimtebesparende en onderhoudsarme ondersteuning van kritieke toevoerprocessen. Er kan een onderscheid worden gemaakt tussen catalogusproducten, waaronder commodity-producten, met een zeer goede wereldwijde beschikbaarheid en een klantspecifieke oplossing die volgens uw specificatie wordt gebouwd.

Welke expertise heeft Festo op het gebied van Front-end, Back-end en Advanced Packaging?

We hebben vele jaren uitgebreide ervaring op het gebied van Semicon Ffront-end, Back-end en Advanced Packaging. Een groot deel van ons productportfolio is ontwikkeld in nauwe samenwerking met de industrie op basis van uw vereisten. Tot het klantenbestand van Festo behoren bijna alle gerenommeerde internationale fabs en OEM's. Onze bewezen en innovatieve producten omvatten oplossingen op maat voor elk van deze productiestappen - van waferverwerking tot montage en verpakking. Dankzij onze grondige kennis van de behoeften en uitdagingen van onze klanten kunnen we oplossingen op maat bieden die op betrouwbare wijze voldoen aan de hoge eisen voor precisie, reinheid en betrouwbaarheid in alle fasen van de halfgeleiderproductie.

Welke extra voordelen en diensten biedt Festo de halfgeleiderindustrie?

Als betrouwbare partner voor de halfgeleiderindustrie bieden we naast onze automatiseringsoplossingen ook engineering support, toepassingsadvies en op maat gemaakte systeemoplossingen voor specifieke productievereisten. We ondersteunen je ook met digitale diensten zoals condition monitoring, predictive maintenance en het gebruik van AI voor procesoptimalisatie. Opleiding, wereldwijde technische support en snelle levering van reserveonderdelen ronden ons dienstenaanbod af.

Welke van onze diensten en normen zijn van bijzonder belang voor halfgeleiderfabrikanten?

Voor onze klanten in de halfgeleiderindustrie zijn onze cleanroomcompatibele producten, maximale procesbetrouwbaarheid en een lange levensduur bijzonder belangrijk. Als iets niet gaat zoals gepland, profiteert u van een snelle analyse van de oorzaak van de storing, die bij Festo wordt onderzocht met behulp van moderne analysemethoden. We hebben ook een uitgebreid wijzigings- en stopzettingsbeheer geïmplementeerd dat ons in staat stelt te voldoen aan uw standaard industrievereisten - zoals "CopyExact!" (Corporate Engineering!) - voldoen. We bieden ook producten voor cleanroomtoepassingen, die op verzoek dubbel verpakt kunnen worden.