Eén manier om deze prijsdruk te weerstaan is het aanzienlijk verminderen van het stikstofverbruik en de energie die nodig is voor de productie. Stikstof is het meest gebruikte medium in het productieproces van halfgeleiders. In grote halfgeleiderfabrieken kan het stikstofverbruik oplopen tot 50.000 kubieke meter per uur. Stikstof wordt onder andere gebruikt om FOUP's te purgen om een gecontroleerde, besmettingsvrije omgeving te creëren voor wafers die van de ene machine naar de andere worden getransporteerd om verwerkt te worden.
Een zorgvuldige analyse van de gebieden in de fabriek waar stikstof wordt gebruikt en het gericht minimaliseren van het verbruik kunnen in korte tijd tot aanzienlijke besparingen leiden. Vooral het spoelen van FOUP's biedt veel mogelijkheden om stikstof efficiënt te gebruiken door actieve dosering met een gesloten regelkring. Vergeleken met conventionele ventielen doseren piëzo-elektrische spoelventielen zeer nauwkeurig en verbruiken ze tegelijkertijd extreem weinig stroom. Met de juiste systemen kan het stikstofverbruik van een grote fabriek en het bijbehorende energieverbruik en de CO2-uitstoot aanzienlijk worden verminderd.
