Jedním ze způsobů, jak odolat tomuto cenovému tlaku, je výrazně snížit spotřebu dusíku a energie potřebné k jeho výrobě. Dusík je nejběžněji používané médium v procesu výroby polovodičů. Ve velkých továrnách na výrobu polovodičů může být spotřeba dusíku až 50 000 metrů krychlových za hodinu. Dusík se mimo jiné používá k profukování zásobníků FOUP, aby se pro plátky přepravované z jednoho stroje do druhého ke zpracování vytvořilo řízené prostředí bez kontaminace.
Pečlivá analýza oblastí, kde se v továrně používá dusík, a cílená minimalizace spotřeby mohou v krátké době vést k výrazným úsporám. Zejména profuk zásobníků FOUP nabízí mnoho příležitostí k efektivnímu využití dusíku prostřednictvím aktivního dávkování s uzavřenou regulační smyčkou. Ve srovnání s konvenčními ventily dávkují piezoelektrické ventily s vysokou přesností a zároveň spotřebovávají extrémně málo energie. S vhodnými systémy lze výrazně snížit spotřebu dusíku ve velké továrně a s tím spojenou spotřebu energie a emise CO2.
