1. Homepage

  2. Řešení

  3. Odvětví

  4. Elektrotechnický průmysl

  5. Polovodičový průmysl

Automatizace v polovodičovém průmyslu

Zařízení, které dnes vyrábíte, musí již za 18 měsíců vyrábět dvakrát složitější čipy – a to bez zdražení. To se vyplatí pouze s automatizovanými řešeními, která pracují spolehlivě a hospodárně. Dobře víme, jak důležitá je pro výrobce polovodičů a elektronických součástí absolutní disponibilita zařízení. Jaké výrobky a služby potřebujete? Jsme Vám nablízku kdekoliv na světě.

Použití: řízení a regulace chladicích okruhů

Požadavek: spolehlivá regulace chladicího média při výrobě polovodičů

Řešení Festo:

  • Ventilové terminály VTUG a VTOC (1) pro spolehlivé ovládání pneumatických ventilů pro média
  • Ventilové terminály CPX-MPA, používají-li se další vstupy/výstupy, např. pro ovládání elektrických ventilů, připojení čidel nebo vytvoření uzavřených regulačních okruhů Rovněž včetně funkce diagnostiky a údržby na dálku.
  • Pneumaticky nebo elektricky ovládané ventily VZXA, VZQA, VZWF (3) řídí průtok médií. I v uzavřeném regulačním okruhu jsou velmi studená a/nebo horká média spolehlivě a přesně regulována.
  • Kyvné pohony DFPD (4) ovládají kulové kohouty VZBF (5) a klapky, které se z důvodu velkého průtoku typicky používají v hlavním rozvodu resp. na vstupu/výstupu chladicího/ohřívacího média.
  • Čidla SFAW (2) a SPAW (6) měří s vysokou přesností průtok, teplotu i tlak médií.

Výrobky pro polovodičový průmysl

Ze širokého portfolia výrobků pro stroje na výrobu elektronických součástek: ventilové terminály VTOC s integrovanou bezpečnostní funkcí nebo proporcionální redukční ventily VEAA/VEAB pro regulaci ventilů pro média, které se typicky používají v řízení resp. regulaci procesních plynů.

Sdílejte znalosti o polovodičovém průmyslu

Než se rozhodnete pro Festo, neváhejte získat názory svých odborníků. Námi navrhovaná řešení a příklady použití můžete snadno předat: tímto odkazem