Automatizace v polovodičovém průmyslu

Preciznost a výkon pro optimální výsledky ve výrobě

Zdokonalte svou výrobu polovodičů s pokrokovou automatizací – pro stabilní chod, maximální preciznost a minimální nároky na prostor. Jako partner výrobců polovodičů a čipů známe výzvy, kterým čelíte. Pomůžeme Vám prostřednictvím inovativních standardních komponentů i řešeními na míru, která se hladce začlení do Vaší výroby. Naše řešení zohledňují průmyslové normy, třeba ohledně emise částic nebo odplyňování.

Díky velmi kvalitním a snadno přizpůsobitelným automatizačním řešením můžete využívat inovativní, konkurenceschopné technologie v procesech front-end i back-end, Advanced Packaging nebo při hybridním lepení. Technologie jsou optimalizovány tak, aby minimalizovaly kontaminaci, spolehlivě pracovaly a dlouhodobě tak udržely Váš výnos. Jejich konstrukce často významně snižuje náklady na energii a zmenšuje ekologickou stopu.

Řešení, která udržují Vaše procesy trvale stabilní a opakovatelné

Automatizace, která přináší stabilitu, a tedy i ekonomický výnos výroby polovodičů. Chytrá konstrukce komponentů znamená mimořádnou přizpůsobivost a modularitu. Můžete kdykoliv, rychle a snadno reagovat na měnící se požadavky na výrobu.

Automatizace Festo Vám přinese následující výhody:

  • velmi přesné řízení pohybu, tlaku a průtoku média
  • čistá konstrukce Clean Design pro nezbytnou čistotu a emise částic
  • rozměrově úsporná konstrukce do kompaktního prostoru
  • minimalizovaná spotřeba energie a snížená produkce tepla
  • připravenost na AI/IoT
  • díky místní výrobě a dodávkám spolehlivá dostupnost kdekoliv na světě
  • Zohlednění požadavků CopyExactly!
  • osobní pomoc specialistů pro výzvy ve specifických procesech
  • Specifická maziva a těsnění pro polovodiče, která brání nežádoucímu odplynování.

Výroba s opakovanou přesností a s nepřetržitou kontrolou pomocí umělé inteligence

Spolehněte se na celostní řešení, která udrží vaše procesy dlouhodobě stabilní a opakovatelné. Díky těsněním a mazivům specifickým pro polovodiče můžete také těžit z minimalizace odplynování pro ideální průběh procesu. Ať se jedná o individuální regulaci teploty, mikropolohování nebo precizní cyklickou kontrolu plynných fází při nanášení atomárních vrstev (ALD) – vyvíjíme pro Vás řešení na míru.

Pomůžeme Vám například při:

  • regulaci teploty pro Wafer-Chuck, procesní komoru nebo plazmový generátor
  • pin-Lift a mikropolohování s detekcí síly
  • řízení ventilů pro nanášení atomárních vrstev (ALD)
  • spolehlivém profukování a regeneraci vakuových komor
  • pilotním řízení ventilů UHP pro spolehlivou regulaci procesních plynů

Přehled výhod

Známe složité výzvy, kterým čelí výrobci polovodičů, a nabízíme řešení na míru. Pomůžeme Vám však také hlubokými praktickými znalostmi a globální podporou. Naši odborníci Vám vždy pomohou zlepšit funkce Vašich zařízení a minimalizovat prostoje.

Můžete se na nás spolehnout jako na ideálního partnera pro automatizaci:

  • vysoká spolehlivost pro spolehlivý a konzistentní provoz ve všech fázích procesu
  • rychlá reakce v kritických situacích s analýzou příčin s využitím nejmodernějších technologií a minimalizací rizik
  • technologicky otevřená řešení s pneumatickými a elektrickými komponenty
  • zohlednění standardů CopyExactly! s vlastní globální směrnicí
  • globální dodávky pro hladký průběh výroby

Časté dotazy

Jakými školeními pomáháme našim partnerům v polovodičovém průmyslu?

Automatizace Festo pro polovodičový průmysl je zaměřena na přesnost, energetickou účinnost, instalační prostor a přizpůsobivost– od katalogových výrobků až po specifická řešení, která se do Vašeho systému hodí přesně podle Vašich požadavků. Kromě průmyslových norem je klíčovým předpokladem ekonomická efektivita systému. Mezi hlavní oblasti patří přesné řízení chladicích okruhů pomocí ventilových terminálů a čidel, snížení spotřeby dusíku pomocí inovativní piezoelektrické technologie a efektivní manipulace s plátky a čipy pomocí kompaktních modulárních manipulačních systémů. Festo Automation Experience (Festo AX) využívá umělou inteligenci, která umožňuje optimalizaci výrobních procesů podle dat s cílem zvýšit kvalitu a efektivitu. Pro specifické aplikace nabízíme řešení na míru, jako je například řízení Pin-Lift a přívodu plynu pro procesy chemického leštění. Pomáháme výrobcům polovodičů při snižování výrobních nákladů, zlepšování dostupnosti zařízení a zlepšování kvality výrobků.

Komu je nabídka určena?

Automatizace Festo je určena zejména celému polovodičovému průmyslu, provozovatelům výrobních závodů i zhotovitelům výrobních zařízení (OEM) a procesním inženýrům v oblasti front-endu a back-endu až po Advanced Packaging. Naši pomoc využívají také vývojáři a projektanti komplexních zařízení v oblasti elektroniky a mikrosystémové techniky.

Kde ve svých zařízeních/WFE nebo nástrojích a strojích můžete využít automatizaci Festo?

Automatizace Festo je určena pro použití v systémech, zařízeních pro výrobu destiček (WFE) a nástrojích pro výrobu polovodičů i v dílčích zařízeních. Patří sem komponenty a systémy pro přívod plynu, chladicí okruhy, vakuové technologie a pohyby v čistém prostoru. Kompaktní ventilové terminály, piezoelektrická technologie a inteligentní čidla pomáhají zlepšovat stabilitu procesů a energetickou účinnost. Automatizované systémy Festo přispívají v závodech dodavatelů ke spolehlivosti, prostorové úspornosti a usnadnění údržby v rámci kritických dodavatelských procesů. Lze rozlišovat mezi katalogovými výrobky, včetně komoditních, s velmi dobrou dostupností po celém světě a řešeními na zakázku podle Vašich specifikací.

Jaké zkušenosti má společnost Festo v oblastech Frontend, Backend a Advanced Packaging?

V oblastech front endu, back endu a Advanced Packaging pro polovodiče jsme během let získali rozsáhlé zkušenosti. Velká část našeho portfolia výrobků byla vyvinuta v těsné spolupráci s průmyslem a podle Vašich požadavků. Mezi zákazníky společnosti Festo patří téměř všechny renomované mezinárodní továrny a výrobci OEM. Osvědčené a inovativní výrobky Festo zahrnují řešení na míru pro každou z těchto výrobních fází – od zpracování plátků až po montáž a balení. Díky hluboké znalosti potřeb a požadavků našich zákazníků můžeme nabídnout automatizaci na míru, která spolehlivě plní vysoké požadavky na preciznost, čistotu a spolehlivost ve všech fázích výroby polovodičů.

Jaké další výhody a služby nabízí společnost Festo polovodičovému průmyslu?

Jako spolehlivý partner polovodičového průmyslu nabízíme kromě samotné automatizace také technickou pomoc, aplikační poradenství a systémová řešení na míru pro specifické výrobní požadavky. Pomůžeme Vám také digitálními službami, jako je sledování stavu, prediktivní údržba a využití umělé inteligence pro optimalizaci procesů. Nabídku našich služeb doplňuje možnost školení, technická podpora po celém světě a rychlé dodávky náhradních dílů.

Které ze služeb a standardů mají pro výrobce polovodičů zvláštní význam?

Pro zákazníky v polovodičovém průmyslu jsou zvláště důležité výrobky vhodné do čistého prostoru, maximální procesní spolehlivost a dlouhá životnost. Pokud něco neproběhne podle plánu, můžete využít rychlou analýzu příčiny poruchy, ke které ve Festo používáme moderní analytické metody. Zavedli jsme také rozsáhlý systém řízení změn a výběhu starších výrobků, který nám umožňuje plnit standardní oborové požadavky – například „CopyExact!“ (CE!). Nabízíme také výrobky pro aplikace v čistém prostoru, které lze na požádání dvojitě zabalit.