Mikrochip-Untersuchung

Automatisierung in der Halbleiterindustrie

Die Anlage, die Sie heute bauen, muss schon in 18 Monaten doppelt so komplexe Chips produzieren – ohne dass Sie am Preis drehen könnten. Das rechnet sich nur mit automatisierten Lösungen, die verlässlich und wirtschaftlich arbeiten. Wir wissen gut, wie wichtig absolute Anlagenverfügbarkeit für die Hersteller von Halbleitern und elektronischen Bauteilen ist. Welche Produkte und Services brauchen Sie? Wir sind weltweit für Sie vor Ort.

Anwendung: Kühlkreisläufe steuern und regeln

Ihre Herausforderung: Bei der Halbleiterfertigung das Kühlmedium zuverlässig regeln

Die Lösung von Festo:

  • Ventilinseln VTUG und VTOC (1) zur zuverlässigen Ansteuerung von pneumatischen Medienventilen
  • Ventilinsel des Typs CPX-MPA, wenn zusätzlich I/Os benötigt werden, um z.B. elektrische Ventile anzusteuern, Sensoren einzubinden oder geschlossene Regelkreise aufzubauen. Bei dieser können auch Diagnose- und Fernwartungsfunktionen realisiert werden.
  • Pneumatisch oder elektrisch betätigte Ventile des Typs VZXA, VZQA, VZWF (3) steuern den Medienfluss. Auch in einem geschlossenen Regelkreis werden sehr kalte und/oder heiße Medien zuverlässig und genau geregelt.
  • Schwenkantrieb DFPD (4) betätigt Kugelhähne VZBF (5) und Klappenventile, die wegen der hohen Durchflussleistung typischerweise in der Hauptleitung bzw. in der Zu-/Ableitung des Kühl-/Temperiermediums eingesetzt werden.
  • Sensoren des Typs SFAW (2) und SPAW (6) messen mit hoher Genauigkeit Durchflüsse und Medientemperaturen bzw. Mediendruck.

100.000 € Einsparung pro Linie in der Wafer Produktion durch weniger Ausschuss: Dank der Software Festo AX

Optimieren Sie mithilfe von Daten und Künstlicher Intelligenz (KI) Ihre Prozesse in der Automatisierungsindustrie. Vor allem bei teuren Produktionsprozessen wie der Wafer Produktion kann Ausschuss sehr teuer werden. Durch zielgerichtete Sensorik und Predictive Quality mit Festo AX kann der Ausschuss reduziert und signifikante Einsparungen erzielt werden.

Erfahren Sie in diesem Use Case mehr zur Qualitätsoptimierung und -Sicherung mithilfe von KI (Predictive Quality). Lernen Sie, wie durch gezielte Datenanalysen und kontinuierliche Qualitätsüberwachung Transparenz über die Produktion geschaffen wird und durch reduzierten Ausschuss eine jährliche Einsparung von 100.000 € pro Linie erzielt wurde. Die Investition hat sich bereits innerhalb weniger Monate rentiert.

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Produkte für die Halbleiterindustrie

Festo hat ein breites Produktportfolio für Maschinen zur Fertigung elektronischer Bauteile: Die Ventilinsel VTOC mit integrierter Safety-Funktion oder unsere Proportional-Druckregelventile VEAA/VEAB zur Vorsteuerung von Medienventilen wie sie typischerweise in der Steuerung bzw. Regelung von Prozessgasen eingesetzt werden.

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Holen Sie ruhig die Meinungen Ihrer Spezialisten ein, bevor Sie sich für Festo entscheiden. Unsere Lösungsvorschläge und Anwendungsbeispiele geben Sie ganz einfach weiter: mit diesem Link