Perfektionieren Sie Ihre Halbleiter-Produktion durch ideale Automations-Lösungen – für stabile Prozesse, maximale Präzision und minimierten Platzbedarf. Als Partner der Chip- und Halbleiterindustrie kennen wir Ihre Herausforderungen. Wir unterstützen Sie sowohl mit innovativen Standardkomponenten als auch kundenspezifischen Lösungen, die sich in Ihren Prozess und Anlage ideal einfügen. Unsere Lösungen berücksichtigen branchenübliche Standards, wie zum Beispiel Partikelgenerierung oder Ausgasung.
Mit unseren hochwertigen und leicht anpassbaren Automations-Lösungen nutzen Sie vom Front-End über das Back-End bis hin zum Advanced Packaging – wie etwa Hybrid-Bonding – innovative, wettbewerbsfähige Technologien. Sie sind auf die Minimierung von Verunreinigungen optimiert, arbeiten verlässlich und halten so dauerhaft Ihren Yield. Dank ihres konstruktiven Aufbaus lassen Sie damit auch oft Energiekosten und Ihren ökologischen Fußabdruck verringern.
Für eine stabile und damit wirtschaftliche Ausbeute in der Halbleiterproduktion sorgen unsere Automations-Lösungen. Das smarte Design unserer Komponenten macht sie zudem besonders anpassungsfähig und skalierbar. Damit können Sie jederzeit einfach und schnell auf veränderte Produktionsbedürfnisse reagieren.
Durch diese Vorteile profitieren Sie mit unseren Automations-Lösungen:
Setzen Sie auf unsere ganzheitlichen Lösungen, die Ihre Prozesse dauerhaft stabil und reproduzierbar halten. Durch unsere Semicon-spezifischen Dichtungen und Fette profitieren Sie zudem von minimierter Ausgasung für ideale Prozessabläufe. Ob individuelle Temperaturregelung, Mikro-Positionierung oder präzise zyklischen Kontrolle der Gasphasen bei der Atomlagenabscheidung (ALD) – wir entwickeln für Sie passgenaue Lösungen.
Wir unterstützen Sie beispielsweise bei:
Wir kennen die vielschichtigen Herausforderungen der Halbleiter-Hersteller und bieten dafür passgenaue Lösungen. Wir unterstützen Sie aber auch mit fundiertem Praxis-Know-how und unserem globalen Support-Netzwerk. Unsere Experten helfen Ihnen jederzeit, die Funktionen Ihrer Anlagen zu verbessern und Ausfallzeiten zu minimieren.
Verlassen Sie sich auf uns als idealen Automations-Partner:
Unsere Automatisierungs-Lösungen für die Halbleiter-Industrie sind auf Präzision, Energieeffizienz, Bauraum und Flexibilität ausgerichtet – vom Katalogprodukt bis zur spezifischen Lösung die sich genau nach ihrer Spezifikation in Ihre Anlage einfügt. Neben branchenüblichen Standards bildet die Wirtschaftlichkeit des Systems eine maßgebliche Grundvoraussetzung. Zu unseren Kernbereichen zählen die präzise Steuerung von Kühlkreisläufen mittels Ventilinseln und Sensoren, die Reduzierung des Stickstoffverbrauchs durch innovative Piezotechnologie und die effiziente Handhabung von Wafern und Chips mit kompakten, modularen Handlingsystemen. Darüber hinaus ermöglicht unsere Festo Automation Experience (Festo AX) mithilfe von Künstlicher Intelligenz eine datenbasierte Optimierung von Produktionsprozessen, um Qualität und Effizienz zu steigern. Für spezifische Anwendungen bieten wir maßgeschneiderte Lösungen wie die Steuerung von Pin Liftern und die Gasversorgung bei chemischen Polierprozessen. Damit unterstützen wir Halbleiterhersteller dabei, Produktionskosten zu senken, die Anlagenverfügbarkeit zu erhöhen und die Produktqualität zu verbessern.
Mit unseren Automations-Lösungen richten wir uns insbesondere an die gesamte Halbleiter-Industrie, betreiber von Fabs genauso wie OEMs von Fertigungsanlagen und Prozessingenieure im Front End und Back End bishin zum Advanced Packaging. Auch Entwickler und Planer komplexer Anlagen im Elektronik- und Mikrosystemtechnikbereich profitieren von unseren Lösungen.
Unsere Automations-Lösungen sind konzipiert für den Einsatz in Anlagen, Wafer-Fertigungsequipment (WFE) und Tools der Halbleiterproduktion sowie in der SubFab. Dazu gehören Komponenten und Systeme für Gasversorgung, Kühlkreisläufe, Vakuumtechnik, und Bewegungslösungen im Reinraum. Mit kompakten Ventilinseln, Piezotechnologie und intelligenten Sensoren unterstützen unsere Komponenten die Prozessstabilität und Energieeffizienz. In der SubFab tragen unsere automatisierten Systeme zur sicheren, platzsparenden und wartungsarmen Unterstützung kritischer Versorgungsprozesse bei. Dabei lässt sich zwischen Katalogprodukte inkl. Commodity-Produkten, mit sehr guter weltweiter Verfügbarkeit und einer kundenspezifischen Lösung, gebaut nach Ihrer Spezifikation unterscheiden.
Wir verfügen über eine langjährige und umfangreiche Erfahrung in den Bereichen Semicon Front End, Back End und dem Advanced Packaging. Ein Großteil unseres Produktportfolios wurde im engen Austausch mit der Industrie, nach Ihren Anforderungen entwickelt. So zählen fast alle nahmhaften internationalen Fabs und OEMs zum Festo Kundenkreis. Zu unseren bewährten und innovativen Produkten zählen maßgeschneiderte Lösungen für jeden dieser Produktionsabschnitte – von der Waferbearbeitung über die Montage bis zum Packaging. Dank tiefer Kenntnisse über die Bedürfnisse und Herausforderungen unserer Kunden können wir passgenaue Lösungen anbieten, die die hohen Anforderungen an Präzision, Sauberkeit und Zuverlässigkeit in allen Phasen der Halbleiterfertigung zuverlässig erfüllen.
Als verlässlicher Partner der Halbleiter-Industrie bieten wir neben unseren Automations-Lösungen auch Engineering-Support, Applikationsberatung und maßgeschneiderte Systemlösungen für spezifische Produktionsanforderungen. Darüber hinaus unterstützen wir Sie mit digitalen Services, wie Condition Monitoring, Predictive Maintenance und dem Einsatz von KI zur Prozessoptimierung. Schulungen, weltweiter technischer Support und schnelle Ersatzteillieferung runden unser Serviceangebot ab.
Für unsere Kunden in der Halbleiter-Idustrie sind insbesondere unsere reinraumtauglichen Produkte, höchste Prozesssicherheit und eine lange Lebensdauer entscheidend. Läuft was nicht wie geplant, profitieren Sie von einer schnellen Analyse des Ausfallsgrunds, welche bei Festo mit modernen Analysemethoden untersucht wird. Zudem haben wir haben ein umfassendes Änderungs- und Auslaufmanagement implementiert, mit dem wir Ihre branchenüblichen Anforderungen – etwa „CopyExact!” (CE!) – erfüllen. Darüber hinaus bieten wir Produkte für Anwendungen im Reinraum an, die auf Wunsch doppelt verpackt sind.