精确控制惰性气体：性价比之选
质量流量调节阀 VEFC 尤其适合用于半导体工业，但也适用于需要精确控制惰性气体的场合。VEFC 结构非常紧凑，是对受控气动系统产品组合的有力补充。同时，它还具有压电阀的相关优点：动态性能超高、无级精度、超低电耗、超低发热、无需手动调节即可实现稳定流量以及极高的性价比。
经济、安全、精确的氮气吹扫
将 VEFC 安装在负载端口，即可在单个吹扫步骤中调节不同流量。在预吹、预吹扫、过程吹扫和后吹扫过程中，VEFC 可确保只消耗绝对必要的氮气量。这样一来就能节省氮气，缩短过程时间，直至达到干燥的保护气体环境。
