FOUP-i osiguravaju zatvoreno okruženje za transport i pohranu wafera između procesnih koraka. Pročišćavanje N₂ pomaže u održavanju potrebne zaštitne atmosfere unutar FOUP-a i ograničava izloženost atmosferskom kisiku i zagađenju iz zraka.
Izazov nije samo smanjiti protok dušika. Protok mora odgovarati zahtjevima procesa pročišćavanja, uz izbjegavanje nepotrebne potrošnje.
Precizna regulacija protoka i tlaka dušika ključna je kako bi se osiguralo da opskrba može pouzdano reagirati na promjenjive uvjete procesa.
Piezolelektrični savijači pretvaraju električni napon u precizno mehaničko kretanje. To omogućuje kontinuirano i precizno reguliranje tlaka ili protoka uz minimalnu potrošnju električne energije.
Regulator proporcionalnog tlaka VEAD i regulator masenog protoka VEFC upotrebljavaju to načelo za kontrolu inertnih plinova kao što je dušik. Zahvaljujući preciznoj regulaciji, brzoj reakciji i niskoj generaciji čestica, prikladni su za osjetljive primjene u poluvodičima.
Stalan ili visok protok često isporučuje više dušika nego što je stvarno potrebno. Kontrola temeljena na tehnologiji Piezo preciznije prilagođava protok N₂ stvarnim potrebama procesa.
U primjeru izračuna poduzeća Festo regulirani protok smanjio je stopu pročišćavanja s 20 na 5 SLPM po FOUP-u, što odgovara smanjenju do 75 %. Stvarne uštede ovise o zahtjevima procesa i uvjetima rada.
Regulacija tlaka ili protoka na temelju tehnologije Piezo može biti posebno korisna kada je za primjenu potrebno sljedeće:
Pročišćavanje OUP-a dio je šireg okruženja za proizvodnju poluvodiča. Odgovarajući zahtjevi za automatizaciju ovise o opremi i području procesa.
Za primjene koje uključuju taloženje, jetkanje, ionsku implantaciju i opremu za obradu wafera istražite procese visokog vakuuma u proizvodnji poluvodiča.
Za pročišćavanje FOUP-a i druge primjene pročišćavanja N₂ u atmosferskim okruženjima, istražite atmosferske procese u proizvodnji poluvodiča.