Atmosferski procesi u proizvodnji poluvodiča

Za rukovanje pločicama između FOUP-a i brave za utovar Festo koristi „obrnuti portal“. Ovaj Kartezijev robot osigurava sigurno i brzo kretanje pločica u atmosferskim uvjetima. Rješenje štedi prostor i može se integrirati u postojeće EFEM-ove.

Preporučeni proizvodi:
Električna osovina ELGD

Naš globalno jedinstveni uređaj za poravnavanje pločica kombinira krajnji efektor i uređaj za poravnavanje u jednom kompaktnom sustavu. Bodove osvaja zbog nježnog rukovanja, optimalne ponovljivosti i iznimno malog prostora. Naše automatizirano rješenje pozicionira pločicu izravno na vilicu, detektira oznake poput zareza, poravnava pločicu u skladu s tim i precizno je ubacuje u procesnu komoru. Kombiniranjem nekoliko koraka u jednom modulu , vrijeme ciklusa se smanjuje, EFEM zahtijeva mnogo manje prostora i smanjuje se broj odabira pločice, tj. koliko često se pločica uzima i postavlja. Beskontaktno poravnanje postiže se Bernoullijevim efektom. To također omogućuje okretanje pločice („preokretanje“) i umetanje u proces naopako.

Podizačica za pločice omogućuje precizno i pozicioniranje pločice bez vibracija s točnošću do jednog mikrometra. Također je moguće pomicanje podloge s kraja na kraj bez vibracija kako bi se izbjegao takozvani hod pločice. Glavna prednost je što sustav detektira silu potrebnu za podizanje pločice, npr. iz elektrostatskog stezača pločice (ESC). To znatno smanjuje rizik od mikropukotina u pločici ili čak potpunog loma pločice. Pneumatsko rješenje je kompaktnije od električnih sustava, smanjuje električne komponente poput motora i regulatora motora te time smanjuje i toplinsko zračenje, jer regulacijski ventili ne moraju biti postavljeni neposredno uz procesnu komoru. Specijalizirani pogoni za visoki vakuum mogu se kontrolirati i Festo regulacijskim ventilima.

Sustav generira i pruža podatke koje možete koristiti za praćenje stanja sustava. U tu svrhu možete koristiti postojeće algoritme Festo AI alata “Festo AX” i uključiti ih u svoj sustav kao jedan modul ili kao cijeli, personalizirani sustav.

Preporučeni proizvodi:
Terminal ventila VTEP
Kontrola CPX-E
Senzor SDAT

Naša rješenja za pročišćavanje N2 za stvaranje i održavanje čistih atmosfera pouzdano sprečavaju oksidaciju atmosferskim kisikom i kontaminaciju česticama u zraku. Pronaći ćete pravi sustav za svaku primjenu, od malih do velikih protoka, npr. za FOUP-ove. Naš portfelj uključuje regulatore protoka mase (MFC) kao jednokanalno rješenje, kao i ventilske otoke s nekoliko MFC-ova kao višekanalno rješenje. Za EFEM-ove, SMIF/FOUP skladišta ili blokove kalupa nudimo rješenja za pročišćavanje s posebno kompaktnim otiskom. Sustav generira podatke koje možete koristiti za praćenje stanja sustava, posebno stupnja onečišćenja korištenih filtara. Izbjegnite neplanirane zastoje stroja i dodatno optimizirajte svoj proces.

Preporučeni proizvodi:
Naši regulatori protoka mase VEMD, VEAD, VEFC, VTEP

Pri premazivanju podloga fotorezistima (PR), što može biti skupo, naši upravljački sustavi za dozirne ventile osiguravaju precizne debljine slojeva. A time i za stabilnu i ponovljivu kvalitetu procesa, kao i optimalnu isplativost. Funkcija usisavanja sprečava zadržavanje kapljica na vanjskoj strani vrha mlaznice. Naši ventili osiguravaju precizno doziranje PR-a i povlačenje posljednje kapi, čime štite osjetljive medije od atmosferskog kisika.

Preporučeni proizvodi:
Mjerni ventili VEAB i VTEP
Solenoidni ventili s odvojenim medijima VYKA/ VYKC
Električni pogoni EPCO i ERMO i odgovarajući senzori

Naši ventili i senzori kontroliraju procesne medije u podfabrici, priključcima i WFE/alatu s visokom preciznošću i učinkovitošću. Bez obzira na to radi li se o suspenziji s abrazivnim česticama, mokrim kemikalijama poput kiselina ili lužina, deioniziranoj vodi ili otapalima – bez obzira na to odvija li se instalacija u suhoj kutiji, upravljačkom ormaru ili izravno na alatu – i bez obzira na to je li vaš fokus na minimalnom otisku, čistoći čestica, brzim vremenima prebacivanja ili posebnim zahtjevima okoliša poput visokih temperatura ili kemijskog naprezanja: Festo nudi pouzdana rješenja za ventile i regulaciju za svaku primjenu – za dugotrajnu i procesno pouzdanu proizvodnju poluvodiča.

Naši sustavi mogu generirati podatke koje možete koristiti za praćenje stanja sustava. U tu svrhu možete koristiti postojeće algoritme iz Festova AI alata Festo AX i integrirati ih u svoj sustav kao pojedinačne module ili pak kao potpuno personalizirano rješenje.

Preporučeni proizvodi:
Ventili VTOC, MH1, MHA2 i VUVG/ VTUX
Senzori SPTE, SPAN i SPAF

Takozvani lift zdjele koristi pneumatske pogone pomoću kojih se tekući procesni mediji mogu kontrolirano odvajati, ponovno koristiti ili zbrinjavati. Odgovarajuće posude za prikupljanje („zdjele ili tanjurići“) precizno su postavljene i sigurno pričvršćene ovisno o mediju ili potrebnoj visini prskanja. Istodobno, sustav pomaže znatno smanjiti vibracije i udarce tijekom rada postrojenja.

Naši sustavi mogu generirati podatke koje možete koristiti za nadzor stanja sustava. U tu svrhu možete koristiti postojeće algoritme iz Festova AI alata Festo AX i integrirati ih u svoj sustav kao pojedinačne module ili pak kao potpuno personalizirano rješenje.“

Preporučeni proizvodi:
Terminal ventila VTEP
Cilindar DFM
Upravljanje u otvorenoj petlji CPX-E
Senzor SDAT

Tijekom kemijsko-mehaničkog poliranja (CMP) naša pneumatska kontrola osigurava dinamičnu i vrlo preciznu kontaktnu siluizmeđu pločice i stola za poliranje. Piezo ventili reguliraju tlak u stvarnom vremenu i omogućuju posebno nježno pritiskanje i podizanje pločica. U kombinaciji s našim senzorima tlaka ventili omogućuju posebno visoku razinu točnosti.

Preporučeni proizvodi:
Piezo ventili VTEP i VEAB
Senzor tlaka SPAN
Solenoidni ventil s odvojenim medijem VYKC

U mokrim procesnim sustavima kao što su centrifuge ili linije za premazivanje važno je da vrata procesne komore pouzdano rade. Posebno važno u čistoj sobi: Mora pouzdano zaštititi pločice od kontaminacije, čak i u neočekivanim uvjetima – poput nestanka struje ili zraka – i sam ne smije biti izvor čestica. Naša rješenja za rolete uključuju pouzdane i precizne okrugle cilindre s posebnim mazivima za automatsko otvaranje i zatvaranje. Osim toga, naši pneumatski sustavi zaključavanja osiguravaju sigurno zaključavanje. Korišteni senzori pružaju pouzdane povratne informacije o položaju.

Preporučeni proizvodi:
Okrugli cilindar DSNU
Sustavi blokade VOFA, VTOC, MH1, VUVG/ VTUG, VTUX
Senzori SPTE, SPAN i SPAF

Nudimo brojna posebna rješenja za rukovanje FOUP-ovima, SMIF podovima, supstratima i rešetkama u visoko automatiziranim tvornicama poluvodiča. S našim inverznim portalnim sustavom ostvarujemo štedljive i ekonomične pokrete u EFEM-u, dok naš inovativni poravnavač pločica ubrzava proces utovara integriranim poravnavanjem, čime se skraćuje vrijeme ciklusa. Za FOUP-ove isporučujemo snažne N2 sustave za pročišćavanje s preciznom kontrolom, dostupne kao jednokanalna ili višekanalna rješenja, što vam pomaže smanjiti broj U/I ili upravljati više MFC-ova s jednim sabirničkim modulom. Također razvijamo kompaktne sustave za pročišćavanje za SMIF/FOUP skladišta ili blokove kalupa koji precizno kontroliraju čak i niske protoke i osiguravaju čistu zaštitnu atmosferu.

Nudimo posebna rješenja za mokre procese kao što su PR premazivanje, razvijanje, skidanje ili čišćenje centrifugiranjem. Naša rješenja, poput ventila i senzora, kontroliraju vaše visokočiste ventile izrađene od PFA, PTFE, PVDV ili PP, ili vaše ultravisokočiste ventile izrađene od nehrđajućeg čelika, s visokom preciznošću i učinkovitošću. Zahvaljujući posebno nježnoj kontroli, također imate koristi od dugog vijeka trajanja. Naši sustavi mogu generirati podatke koje možete koristiti za praćenje stanja sustava. U tu svrhu možete koristiti postojeće algoritme iz Festova AI alata Festo AX i integrirati ih u svoj sustav kao pojedinačne module ili pak kao potpuno personalizirano rješenje.
Bilo da je ugrađen u suhu kutiju, upravljački ormar ili izravno na alat, bez obzira na toje li vaš fokus na minimalnom otisku, čistoći čestica, brzim vremenima prebacivanja ili posebnim zahtjevima okoliša poput visokih temperatura ili izloženosti kemikalijama, nudimo pravo rješenje za svaku primjenu. Dozirajte agresivne kemikalije, dok ventili s funkcijom povratnog usisavanja sprečavaju kapanje tijekom doziranja PR-a i osiguravaju točne količine medija. Za procese centrifugiranja isporučujemo pneumatske pogone koji kontroliraju podizanje posude i kontinuirano pomiču zaštitu od prskanja ili separator medija u željeni položaj. Na taj način podržavamo sigurno, učinkovito i bez kontaminacije upravljanje procesima. I time dajemo mali doprinos održivom proizvodnom procesu. Korištenjem inovativne tehnologije ventila Festo vam može izravno pomoći uštedjeti električnu energiju i time smanjiti vaš CO2 otisak. Rado ćemo vas pratiti na vašem putu do „zelene tvornice“.

Nudimo posebna rješenja za CMP procese koji zahtijevaju najveću preciznost i dinamiku, posebno u naprednom pakiranju. Naši visokoprecizni piezo ventili omogućuju preciznu kontrolu kontaktne sile – ključnu za kontrolirano i ravnomjerno uklanjanje materijala. Na taj način ne samo da podržavamo kvalitetu procesa i smanjujemo otpad već pomažemo i skratiti vrijeme vaših procesa. Također razvijamo rješenja koja poboljšavaju učinkovitost i dostupnost CMP sustava, na primjer u kombinaciji s podlogama za kondicioniranje ili inteligentnim komponentama automatizacije.

Nudimo sveobuhvatna rješenja za automatizaciju svih područja i procesnih koraka u tvornici poluvodiča. U inovativnim postrojenjima, na primjer, podržavamo tehnološki napredak našim istraživanjem i našim pionirskim proizvodima. U SubFabu, među ostalim, osiguravamo pouzdanu opskrbu medijima i stabilne procese poput obrade otpadnih voda ili ispušnih plinova. Od preciznih ventila i inteligentnih pogona do kompletnih sustava rukovanja, naša rješenja za automatizaciju pouzdano pridnose stabilnijim, bržim i energetski učinkovitijim proizvodnim procesima.

Koristite podatke koje generiraju naša rješenja za praćenje stanja stroja ili optimizaciju vašeg procesa – u tu svrhu koristite Festo AI rješenja „Festo AX“, bilo kao pojedinačnu komponentu za određenu primjenu ili kao personalizirano cjelovito rješenje za vaš sustav.

Smanjite potrošnju energije u svojem pogonu i cijeloj tvornici korištenjem inovativne Festo tehnologije. Uštedite dvostruko s nama! Smanjite potrošnju energije vašeg sustava i optimizirajte potrošnju komprimiranog zraka/CDA i inertnih plinova. Pratimo vas u vašoj misiji smanjenja vašeg CO2 otiska.

Nudimo inovativna rješenja za napredno pakiranje, što igra središnju ulogu u modernim čipletima poput HBM-a. Za procese kao što su flip chip ili fuzija/hibridno lijepljenje, isporučujemo precizne aktuatore za rukovanje kako bismo spriječili istiskivanje pri lijepljenju. Iskoristite prednosti preciznih aktuatora s kojima možete ostvariti precizne pokrete s točnošću od 1µm.
Izmjerite savijanje pločica (deformirane pločice) i navucite ih ravno na steznu glavu.

Pratite procese i status stroja s pomoću Festo AX-a. Iskoristite inovativnu Festo tehnologiju u svojem uređaju za spajanje/hibridno spajanje i povećajte pouzdanost i kvalitetu procesa u zahtjevnom naprednom pakiranju.