不活性ガスの正確な制御: 費用対効果の高い代替品
VEFC マスフロー コントローラーは特に半導体業界に適していますが、実際には不活性ガスを正確に制御する必要があるあらゆる場所に適しています。非常にコンパクトな VEFC はControlled Pneumatics 製品ポートフォリオを拡張します。同時に、最大のダイナミクス、無限に可変の精度、非常に低い消費電力と発熱、手動調整不要の安定した流量など、ピエゾバルブのすべての利点を備えており、非常に優れた価格性能比を備えています。
経済的、安全、正確なN2パージ
ロード ポートに VEFC を使用すると、個々のパージ ステップでさまざまな流量を制御できます。VEFC はプレブロー、プレパージ、プロセス パージ、ポストパージ中に、絶対に必要な量の窒素のみが使用されることを保証します。これにより窒素が節約され、乾燥保護ガス雰囲気に達するまでのプロセス時間が短縮されます。
