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SEMICON Korea 2025

SEMICON Korea 2025에 여러분을 초대합니다!

국내 최대 반도체 산업 전시회 SEMICON Korea 2025가 2월 19일(수)부터 21일(금)까지 사흘간 코엑스에서 개최됩니다. 한국훼스토는 이번 전시회에서 "Accelerating Excellence: Where Innovation Meets Reliability"라는 슬로건 아래, 반도체 제조 현장에서 직면한 다양한 도전 과제에 대한 솔루션을 제시할 준비가 되어 있습니다. 100년의 역사를 자랑하는 글로벌 자동화 기업 훼스토는 반도체 생산 전 과정에서 생산성을 향상시킬 수 있는 혁신적인 솔루션을 보유하고 있습니다. 이 기술력을 코엑스 B홀 408번 부스에서 직접 확인해 보시기 바랍니다.

전시 하이라이트

반도체 후공정 솔루션 (Backend)


이송 장치를 통해 제품이 접착제 코팅 구역으로 이동하여 코팅 작업이 이루어집니다. 이후, 코팅된 제품은 다시 이송 장치를 통해 열압착 스테이션으로 옮겨지며 접착제가 제품과 함께 열경화되고, 압착 및 접합됩니다. 이 과정에서는 폐루프 힘 제어 시스템이 적용되어 있어, 압착력을 정밀하게 조절함으로써 제품을 효과적으로 보호할 수 있습니다.

주요 특징:

  • VTEP 밸브 터미널: 시스템에 필요한 모든 압력을 제어하며, VEAB를 사용해 다중 제어도 가능합니다.
  • 픽 앤 플레이스(Pick and Place): 진공을 정밀하게 제어하고, 흡입컵의 실패를 감지할 수 있습니다.
  • 접착제 공급: 접착제 공급 시, 공기압을 매우 높은 정확도로 제공하여 안정성을 확보합니다.
  • 압착: 압착력의 정밀한 제어로 제품 품질을 보장합니다.
  • AX 지원: 실린더의 상태를 손쉽게 모니터링할 수 있는 AI 기반 예지보전 시스템을 탑재해 유지보수에 소요되는 비용과 노력을 감소시킵니다.

N2퍼지 (N2 Purge)

N2퍼지 시스템은 정밀한 N2 유량 제어를 위해 피에조 밸브를 사용하여 운송 및 보관 중에 웨이퍼의 산화 및 오염을 방지하는 시스템입니다. 통합 모듈형으로 제작될 수 있어 구조가 간단하고, 누출 위험이 낮으며, 기구 공간을 절약할 수 있습니다. 또한 기존 대비 95% 이상의 에너지 절감과 CO2배출 저감효과를 누릴 수 있는 솔루션입니다.

주요 특징:

  • 피에조 밸브 설계: 피에조 밸브의 장점을 극대화하여 최고의 동적 응답, 매우 낮은 전력 소모 및 발열을 제공하면서 압력 변화에도 안정적인 유량을 유지합니다.
  • 초소형 디자인: VEFC(폭 24mm, 230g의 컴팩트한 디자인으로 좁은 공간에 최적화), VTEP(한 밸브터미널에서 최대 10개의 채널의 독립적인 유량 제어 가능)
  • 엔지니어링 간소화: 설계, 시운전 및 운영을 단순화하는 통합 모듈 설계로 설치 준비 완료된 솔루션을 제공합니다.
  • 모션 터미널 통합: 다수의 MFC(Mass Flow Controller)를 모션 터미널에 통합하여 설정 가능합니다.

마이크로포지셔닝 (Micropositioning)

마이크로 포지셔닝은 훼스토의 공압기술을 활용해 고정밀 위치제어를 가능케합니다. 이는 피에조 밸브 기술을 이용해 공압드라이브를 서보제어하며, 빠르고 큰 동작 뿐만아니라 작고 느린 동작도 정밀하게 구현할 수 있습니다.

주요 특징:

  • 표준 에어 실린더를 사용하여 미크론 단위의 위치 결정이 가능합니다.
  • 실린더와 외부 스케일이 지원하는 다양한 스트로크를 제공합니다.
  • 수평, 수직 모두 가능합니다.
  • 여러 실린더의 정밀 동기 제어도 가능합니다.
  • 직선 운동 뿐만 아니라 회전 운동에서도 정밀 위치 결정이 가능합니다.