En condiciones atmosféricas, las soluciones de automatización desempeñan un papel fundamental en la producción de semiconductores. Entre ellos se incluyen procesos como la aplicación y eliminación de resinas fotosensibles (Photoresist Coating y Strip), procesos de limpieza o CMP. Además, numerosos procesos de manipulación y logística deben ser altamente automatizados y fiables.
Para estos entornos, ofrecemos soluciones innovadoras para el control preciso de fluidos, la manipulación cuidadosa de obleas y la regulación sensible de fuerzas, presiones y perfiles de movimiento. El objetivo es minimizar la generación de partículas, conseguir una elevada estabilidad del proceso y una integración eficiente. Ya se trate de sustratos en bruto, retículas/ SMIFs, FOUPs, obleas procesadas acabadas en aplicaciones de Advanced-Packaging como Flip-Chip y Hybrid-Bonding o Die-Banks. Con Festo podrá automatizar sus procesos de forma segura, eficiente y escalable.