Zastosowanie: Sterowanie i regulacja obiegów chłodniczych
Twoje wyzwanie: Niezawodna regulacja medium chłodzącego w produkcji półprzewodników
Rozwiązanie Festo
- Wyspy zaworowe VTUG i VTOC (1) do niezawodnego sterowania zaworami pneumatycznymi do różnych mediów
- Wyspa zaworowa CPX-MPA jeśli wymagane są dodatkowe wejścia/wyjścia, np. do sterowania zaworami elektrycznymi, integracji czujników lub tworzenia zamkniętych pętli sterowania. Dzięki temu można również realizować funkcje diagnostyczne i zdalnej konserwacji.
- Zawory sterowane pneumatycznie lub elektrycznie typu VZXA, VZQA, VZWF (3) sterują przepływem mediów. Nawet w zamkniętych pętlach bardzo zimne i/lub gorące media są regulowane w sposób niezawodny i dokładny.
- Napęd ćwierćobrotowy DFPD (4) uruchamia zawory kulowe VZBF (5) i przepustnice, które ze względu na duże natężenie są zwykle stosowane w magistralach i liniach zasilających/rozprowadzających media chłodzące lub regulujące temperaturę.
- Czujniki typu SFAW (2) i SPAW (6) mierzą natężenie przepływu i temperaturę mediów lub ciśnienie mediów z wysoką dokładnością.
Produkty dla przemysłu półprzewodnikowego
Festo posiada szeroką ofertę produktów dla maszyn używanych do produkcji komponentów elektronicznych: wyspa zaworowa VTOC ze zintegrowaną funkcją bezpieczeństwa lub nasze zawory proporcjonalne do regulacji ciśnienia VEAA/VEAB do sterowania pilotowego zaworami procesowymi, takich jak te, które są zwykle używane do sterowania lub regulacji gazów procesowych.
Dzielenie się wiedzą na temat przemysłu półprzewodnikowego
Skonsultuj się ze specjalistami, aby dowiedzieć się, co Festo może Ci zaoferować. Udostępnij to łącze, aby uzyskać informacje o naszych zalecanych rozwiązaniach i przykładowych zastosowaniach: