Automatyzacja w przemyśle półprzewodnikowym

Precyzja i wydajność dla optymalnej przepustowości produkcji

Doskonała produkcja półprzewodników dzięki idealnym rozwiązaniom automatyzacji - dla stabilnych procesów, maksymalnej precyzji i minimalnych wymagań przestrzennych. Jako partner dla branży chipów i półprzewodników znamy wyzwania, przed którymi stoisz. Wspieramy Cię zarówno innowacyjnymi standardowymi komponentami, jak i rozwiązaniami dostosowanymi do indywidualnych potrzeb, które idealnie pasują do Twojego procesu i systemu. Nasze rozwiązania są projektowane zgodnie ze standardami branżowymi, takimi jak kontrola generacji cząstek (particle generation) oraz minimalizacja odgazowywania (outgassing).

Dzięki naszym wysokiej jakości i łatwo konfigurowalnym rozwiązaniom automatyzacji korzystasz z innowacyjnych, konkurencyjnych technologii – od procesów Front-End i Back-End aż po Advanced Packaging, takie jak Hybrid Bonding. Są zoptymalizowane pod kątem minimalizacji zanieczyszczeń, działają niezawodnie i tym samym zapewniają utrzymanie wysokiego poziomu uzysku (yield) w dłuższej perspektywie. Dzięki swojej konstrukcji umożliwiają również obniżenie kosztów energii oraz zmniejszenie śladu węglowego.

Rozwiązania zapewniające stałą stabilność i powtarzalność procesów

Nasze rozwiązania automatyzacji zapewniają stabilną, a tym samym ekonomiczną wydajność produkcji półprzewodników. Inteligentna konstrukcja naszych komponentów sprawia, że są one szczególnie elastyczne i skalowalne. Dzięki temu możesz w każdej chwili łatwo i szybko reagować na zmieniające się potrzeby produkcyjne.

Dzięki naszym rozwiązaniom automatyzacji możesz czerpać korzyści z tych zalet:

  • Precyzyjna kontrola ruchu, ciśnienia i przepływu mediów
  • Konstrukcja typu Clean-Design zapewniająca wymaganą czystość i kontrolę emisji cząstek.
  • Oszczędność miejsca dzięki kompaktowej konstrukcji
  • Zminimalizowane zużycie energii i zmniejszone wytwarzanie ciepła
  • Gotowość na AI/IoT
  • Niezawodna dostępność na całym świecie dzięki lokalnej produkcji i dostawie
  • Zgodność z wymaganiami CopyExactly!
  • Indywidualne wsparcie ekspertów w rozwiązywaniu wyzwań specyficznych dla procesu.
  • Smarowanie i uszczelnienia dedykowane dla przemysłu półprzewodnikowego, zapobiegające niepożądanemu odgazowywaniu (outgassing).

Produkcja z powtarzalną dokładnością i kontrolą w czasie rzeczywistym przy użyciu sztucznej inteligencji

Polegaj na naszych kompleksowych rozwiązaniach, aby utrzymać stabilność i powtarzalność procesów w długim okresie. Dzięki naszym uszczelnieniom i smarom dedykowanym dla przemysłu półprzewodnikowego zyskujesz dodatkowo minimalizację odgazowywania (outgassing), co zapewnia optymalny przebieg procesów. Niezależnie od tego, czy chodzi o indywidualną regulację temperatury, mikropozycjonowanie, czy precyzyjną, cykliczną kontrolę faz gazowych w procesie osadzania warstw atomowych (ALD) – opracowujemy dla Ciebie rozwiązania idealnie dopasowane do wymagań.

Wspieramy Cię na przykład w:

  • Regulacji temperatury dla Wafer-Chuck, komory procesowej lub generatora plazmy
  • Podnoszeniu pinów (Pin-Lift) i mikropozycjonowanie z detekcją siły.
  • Sterowaniu zaworami dla procesu osadzania warstw atomowych (ALD).
  • Bezpieczne przepłukiwanie (purging) i regeneracja komór próżniowych.
  • Sterowanie zaworami UHP (Ultra High Purity) w celu niezawodnej regulacji gazów procesowych.

Twoje korzyści w skrócie

Znamy złożone wyzwania stojące przed producentami półprzewodników i oferujemy rozwiązania dostosowane do ich potrzeb. Wspomagamy Cię również rzetelną wiedzą praktyczną oraz naszą globalną siecią wsparcia. Nasi eksperci pomagają usprawnić działanie systemów i zminimalizować przestoje.

Możesz na nas polegać jako na idealnym partnerze w zakresie automatyzacji:

  • Wysoka niezawodność zapewniająca bezpieczeństwo i spójność działania na wszystkich etapach procesu
  • Szybka reakcja w krytycznych sytuacjach z analizą przyczyn źródłowych przy użyciu najnowocześniejszej technologii i minimalizacji ryzyka
  • Rozwiązania otwarte technologicznie z elementami pneumatycznymi i elektrycznymi.
  • Uwzględnienie standardów CopyExactly! z globalnymi wytycznymi
  • Wsparcie globalnego łańcucha dostaw dla płynnego procesu produkcji

FAQs - Najczęściej zadawane pytania

Jakimi rozwiązaniami wspieramy naszych partnerów z branży półprzewodników?

Nasze rozwiązania automatyzacji dla przemysłu półprzewodnikowego są ukierunkowane na precyzję, efektywność energetyczną, przestrzeń montażową i elastyczność - od produktów katalogowych po konkretne rozwiązania, które pasują do systemu dokładnie według specyfikacji klienta. Oprócz standardów branżowych, kluczowym warunkiem jest opłacalność systemu. Do naszych kluczowych obszarów należą: precyzyjne sterowanie obiegami chłodzenia za pomocą wysp zaworowych i czujników, redukcja zużycia azotu dzięki innowacyjnej technologii piezo oraz efektywna obsługa wafli i układów scalonych za pomocą kompaktowych, modułowych systemów manipulacyjnych. Ponadto, nasz Festo Automation Experience (Festo AX) wykorzystuje sztuczną inteligencję, aby umożliwić opartą na danych optymalizację procesów produkcyjnych w celu zwiększenia jakości i efektywności. Dla specyficznych zastosowań oferujemy rozwiązania szyte na miarę, takie jak sterowanie podnośnikami pinów oraz zasilanie gazem w procesach chemicznego polerowania. W ten sposób wspieramy producentów półprzewodników w obniżaniu kosztów produkcji, zwiększaniu dostępności systemów i poprawie jakości produktów.

Do kogo skierowana jest nasza oferta?

Nasze rozwiązania w zakresie automatyzacji są skierowane w szczególności do całej branży półprzewodników, operatorów fabryk, a także producentów OEM systemów produkcyjnych i inżynierów procesów w zakresie front-end i back-end, aż po Advanced Packaging. Deweloperzy i planiści złożonych systemów w sektorze elektroniki i technologii mikrosystemów również korzystają z naszych rozwiązań.

Gdzie w Twoich systemach/WFE lub narzędziach i maszynach możesz wykorzystać nasze rozwiązania?

Nasze rozwiązania automatyzacji są zaprojektowane do zastosowania w instalacjach, urządzeniach do produkcji wafli (WFE) i narzędziach wykorzystywanych w produkcji półprzewodników, a także w obszarze SubFab Obejmuje to komponenty i systemy zasilania gazem, obwody chłodzenia, technologię próżniową i rozwiązania w zakresie ruchu w pomieszczeniach czystych. Dzięki kompaktowym wyspom zaworowym, technologii piezo oraz inteligentnym czujnikom, nasze komponenty wspierają stabilność procesów i efektywność energetyczną. W SubFab nasze zautomatyzowane systemy przyczyniają się do zapewnienia bezpieczeństwa, oszczędności miejsca i niskich kosztów utrzymania krytycznych procesów dostaw. W tym zakresie można rozróżnić produkty katalogowe, w tym produkty standardowe o bardzo dobrej dostępności na całym świecie, oraz rozwiązania dostosowane do wymagań klienta, zbudowane według Twojej specyfikacji

Jaką ekspertyzę posiada Festo w obszarach frontend, backend i Advanced Packaging?

Posiadamy wieloletnie i szerokie doświadczenie w obszarach front-endu, back-endu oraz Advanced Packaging w branży półprzewodników. Duża część naszego portfolio produktów została opracowana w ścisłej współpracy z przemysłem, zgodnie z wymaganiami klientów. Do grona klientów Festo należą niemal wszystkie renomowane międzynarodowe fabryki półprzewodników (Fabs) i producenci OEM. Do naszych sprawdzonych i innowacyjnych produktów zaliczają się dostosowane rozwiązania dla każdego z tych etapów produkcji – od obróbki wafli przez montaż aż po pakowanie. Dzięki dogłębnej znajomości potrzeb i wyzwań naszych klientów możemy oferować dopasowane rozwiązania, które skutecznie spełniają wysokie wymagania dotyczące precyzji, czystości i niezawodności na wszystkich etapach produkcji półprzewodników.

Jakie dodatkowe korzyści i usługi Festo oferuje branży półprzewodników?

Jako niezawodny partner dla przemysłu półprzewodników, oprócz naszych rozwiązań automatyzacji, oferujemy wsparcie inżynieryjne, doradztwo w zakresie zastosowań i indywidualnie dopasowane rozwiązania systemowe dla określonych wymagań produkcyjnych. Wspieramy również w zakresie usług cyfrowych, takich jak monitorowanie stanu, konserwacja predykcyjna i wykorzystanie sztucznej inteligencji do optymalizacji procesów. Szkolenia, globalne wsparcie techniczne oraz szybka dostawa części zamiennych uzupełniają naszą ofertę serwisową.

Które z naszych usług i standardów mają szczególne znaczenie dla producentów półprzewodników?

Dla naszych klientów z branży półprzewodników szczególnie ważne są nasze produkty kompatybilne z pomieszczeniami czystymi, maksymalna niezawodność procesu i długa żywotność. Gdy coś nie przebiega zgodnie z planem, możesz skorzystać z szybkiej analizy przyczyny awarii, która w firmie Festo jest badana za pomocą nowoczesnych metod analitycznych. Dodatkowo wdrożyliśmy kompleksowe zarządzanie zmianami i wycofaniami produktów, które pozwala nam spełniać typowe dla branży wymagania — takie jak "CopyExact!". (CE!) - spełnione. Oferujemy również produkty przeznaczone do zastosowań w warunkach czystego pomieszczenia, które na życzenie klienta mogą być dostarczane w podwójnym opakowaniu.