Dosagem de nitrogénio com sistemas de lavagem piezoeletrónicos

Como reduzir o consumo de nitrogénio na produção de semicondutores

A indústria dos semicondutores está no auge e continuará a estar no futuro. São cada vez mais os aspectos da nossa vida que se digitalizam, o que significa que a procura por semicondutores, como chips ou chiplets, não deixa de aumentar. Ao mesmo tempo, aumenta, também, a pressão sobre o preço dos produtores. No vídeo, saberá quanto hidrogénio pode poupar e o impacto positivo que pode ter no ambiente.

Uma forma de resistir a esta pressão sobre os preços é reduzir significativamente o consumo de nitrogénio e a energia necessária para a produção. O nitrogénio é o fluido mais utilizado no processo de produção de semicondutores. Nas grandes fábricas de semicondutores, o consumo de nitrogénio pode atingir os 50.000 metros cúbicos por hora. Entre outras coisas, o nitrogénio é utilizado para lavar os FOUPs, a fim de criar um ambiente controlado e livre de contaminação para os wafers que são transportados de uma máquina para outra para o respetivo processamento.

Uma análise cuidadosa das áreas nas quais o nitrogénio é utilizado na fábrica e a minimização seletiva do consumo podem representar uma poupança significativa em pouco tempo. A própria lavagem dos FOUPs oferece muitas oportunidades para utilizar o nitrogénio de maneira eficiente através da dosagem ativa com um circuito de controlo fechado. Em comparação com as válvulas convencionais, as válvulas de limpeza piezoelétricas distribuem com grande precisão e, ao mesmo tempo, consomem muito pouca energia. Com os sistemas adequados, o consumo de nitrogénio de uma grande fábrica e o consumo de energia e as emissões de CO2 associados podem ser significativamente reduzidos.

Torsten Schulz, Head of Global Industry Segment Electronics

Sobre os autores

Torsten Schulz
Head of Global Industry Segment Electronics
Festo SE & Co. KG

Tobias Glattbach, Global Industry Segment Electronics


Tobias Glattbach
Global Industry Segment Electronics
Festo SE & Co. KG

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outubro 2024

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