Automatização na indústria dos semicondutores

Aplicação: controlar e regular circuitos de refrigeração

O seu desafio: regular de forma segura o refrigerante na produção de semicondutores

A solução da Festo:

• Terminais de válvula VTUG e VTOC (1) para o controlo das válvulas de meio pneumáticas
• Terminais de válvula tipo CPX-MPA se forem necessárias entradas/saídas adicionais, por exemplo, para controlar válvulas elétricas, integrar sensores ou criar circuitos de controlo fechados. Este terminal pode realizar funções de diagnóstico e de manutenção remotas.
• As válvulas acionadas pneumática ou eletricamente tipo VZXA, VZQA e VZWF (3) controlam o fluxo dos meios. Meios muito frios e/ou quentes são regulados de forma confiável e precisa, mesmo em circuitos de controlo fechados.
• O atuador de um quarto de volta DFPD (4) acionaválvulas de esfera VZBF (5) e válvulas flape que são normalmente usadas nas linhas principais e nas linhas de alimentação/descarga para a refrigeração ou o controlo da temperatura do meio devido às suas elevadas taxas de fluxo.
• Os sensores tipo SFAW (2) e SPAW (6) medem a taxa de fluxo, como também a temperatura e a pressão dos meios de forma muito precisa.

Produtos para a indústria dos semicondutores

A Festo possui um amplo portfólio de produtos para máquinas de produção de componentes eletrónicos: os terminais de válvula VTOC com função de segurança integrada ou os nossos reguladores de pressão proporcional VEAA/VEAB para o controlo de válvulas de meio normalmente usadas para o controlo e a regulação dos gases do processo.