Automatização na indústria dos semicondutores

Precisão e desempenho para a otimização do rendimento da produção

Aperfeiçoe a sua produção de semicondutores com soluções de automação ideais, para processos estáveis, máxima precisão e redução do espaço necessário. Como parceiro da indústria de chips e semicondutores, conhecemos os seus desafios. Apoiámo-lo tanto com componentes padrão inovadores como com soluções personalizadas, que se integram perfeitamente no seu processo e sistema. As nossas soluções têm em conta as normas da indústria, como a geração de partículas ou a libertação de gases.

Com as nossas soluções de automação de alta qualidade e facilmente adaptáveis, pode usufruir de tecnologias inovadoras e competitivas desde o Front-End até ao Back-End e ao Advanced Packaging, como, por exemplo, a colagem híbrida. São otimizadas para a minimização de contaminações, funcionam de forma fiável e mantêm o seu yield a longo prazo. Graças à sua projeção construtiva, permitem frequentemente reduzir os custos energéticos e a sua pegada ecológica.

Soluções que mantêm os seus processos estáveis e reprodutíveis a longo prazo

As nossas soluções de automação garantem um rendimento estável e, consequentemente, economicamente eficiente na produção de semicondutores. A construção inteligente dos nossos componentes torna-os também especialmente adaptáveis e escaláveis. Isto permite-lhe reagir de maneira simples e rápida às constantes mudanças nos requisitos de produção.

Com as nossas soluções de automação, beneficia destas vantagens:

  • Controlo de alta precisão do movimento, da pressão e do caudal do meio
  • Clean-Design para garantir a limpeza necessária e mínima emissão de partículas
  • Construção compacta para ambientes de instalação restritos
  • Minimização do consumo de energia e redução da geração de calor
  • Preparado para IA/IoT
  • Disponibilidade mundial fiável graças à produção e entrega locais
  • Cumprimento rigoroso dos requisitos do CopyExactly!
  • Apoio especializado e personalizado em desafios específicos do processo
  • Lubrificantes e vedações específicos para semicondutores para evitar emissões indesejadas de gases

Produção com alta repetibilidade e controlo em tempo real através da IA

Aposte nas nossas soluções integradas, que mantém os seus processos estáveis e reprodutíveis a longo prazo. Com as nossas vedações e lubrificantes específicos para semicondutores, também beneficia da minimização da emissão de gases, garantindo processos ideais. Desenvolvemos soluções à sua medida, seja para o controlo individual da temperatura, o microposicionamento ou o controlo preciso e cíclico das fases gasosas no processo de deposição por camadas atómicas (ALD).

Apoiámo-lo, por exemplo, em:

  • Controlo da temperatura Wafer Chuck, câmara de processamento ou gerador de plasma
  • Pin-Lift e microposicionamento com deteção de força
  • Controlo de válvulas para a deposição por camadas atómicas (ALD)
  • Purga e regeneração de câmaras de vácuo com segurança
  • Controlo piloto de válvulas UHP para regular de maneira fiável os gases do processo

Resumo das vantagens

Conhecemos os desafios complexos dos fabricantes de semicondutores e oferecemos soluções personalizadas. Também o apoiamos com know-how prático e com a nossa rede de apoio global. Os nossos especialistas ajudam-no a qualquer momento a otimizar as funções dos seus sistemas e a minimizar os tempos de inatividade.

Conte connosco como o seu parceiro ideal em automação:

  • Alta fiabilidade para uma operação segura e consistente em todas as etapas do processo
  • Resposta rápida em situações críticas, com análise das causas, utilização de tecnologia de ponta e minimização de riscos
  • Soluções de tecnologia aberta com componentes pneumáticos e elétricos
  • Cumprimento das normas CopyExactly! com uma diretriz global própria
  • Suporte a cadeias de fornecimento globais para assegurar um fluxo de produção sem problemas

Perguntas frequentes

Que soluções oferecemos para apoiar os nossos parceiros na indústria dos semicondutores?

As nossas soluções de automação para a indústria de semicondutores focam-se na precisão, eficiência energética, aproveitamento do espaço e flexibilidade, desde produtos de catálogo até soluções específicas que se integram no seu sistema de acordo com as suas especificações. Para além das normas industriais, a rentabilidade do sistema é um requisito fundamental. As nossas áreas principais incluem o controlo preciso dos circuitos de refrigeração utilizando terminais de válvulas e sensores, a redução do consumo de nitrogénio através da tecnologia piezoelétrica inovadora e o manuseamento eficiente de wafers e chips com sistemas de manuseamento compactos e modulares. Além disso, o nosso Festo Automation Experience (Festo AX) utiliza a inteligência artificial para a otimização baseada em dados dos processos de produção, visando aumentar a qualidade e a eficiência. Para aplicações específicas, oferecemos soluções personalizadas, como o controlo de Pin-Lifters e o fornecimento de gás para processos de polimento químico. Assim, ajudamos os fabricantes de semicondutores a reduzir os custos de produção, aumentar a disponibilidade dos sistemas e melhorar a qualidade do produto.

A quem se destina a nossa oferta?

As nossas soluções de automação destinam-se especialmente a toda a indústria de semicondutores, incluindo operadores de fábricas, OEMs de sistemas de produção e engenheiros de processo, desde o Front-End e Back-End até ao Advanced Packaging. Também os desenvolvedores e projetistas de sistemas complexos nas áreas de eletrónica e tecnologia de microssistemas beneficiam das nossas soluções.

Onde, nos seus sistemas/WFE ou ferramentas e máquinas, pode aplicar as nossas soluções?

As nossas soluções de automação são concebidas para a utilização em sistemas, equipamentos de produção de wafers (WFE) e ferramentas de produção de semicondutores, bem como na SubFab. Incluem-se aqui componentes e sistemas para o fornecimento de gases, circuitos de refrigeração, tecnologia de vácuo e soluções de movimento em salas limpas. Com terminais de válvulas compactos, tecnologia piezoelétrica e sensores inteligentes, os nossos componentes promovem a estabilidade do processo e a eficiência energética. Na SubFab, os nossos sistemas automatizados contribuem para o suporte seguro, compacto e de baixa manutenção dos processos de fornecimento críticos. É possível distinguir entre produtos de catálogo, incluindo produtos de consumo com excelente disponibilidade global, e soluções personalizadas, construídas de acordo com as suas especificações.

Que experiência tem a Festo nas áreas de Front-End, Back-End e Advanced Packaging?

Temos uma vasta experiência nas áreas de Front-End, Back-End e Advanced Packaging de semicondutores. Grande parte do nosso portfólio de produtos foi desenvolvida em estreita colaboração com a indústria, de acordo com as suas necessidades. Quase todos os principais fabricantes internacionais de fábricas e OEMs fazem parte da lista de clientes da Festo. Entre os nossos produtos comprovados e inovadores incluem-se soluções personalizadas para cada uma destas fases de produção, desde o processamento de wafers, passando pela montagem, até ao packaging. Graças ao nosso conhecimento profundo das necessidades e desafios dos nossos clientes, oferecemos soluções personalizadas que cumprem de forma fiável os altos requisitos de precisão, limpeza e segurança em todas as fases da produção de semicondutores.

Que serviços e soluções adicionais oferece a Festo à indústria de semicondutores?

Como parceiro de confiança da indústria de semicondutores, oferecemos, para além das nossas soluções de automação, suporte de engenharia, consultoria em aplicações e soluções de sistemas personalizadas para requisitos de produção específicos. Também o apoiamos com serviços digitais, como a Condition Monitoring, a Preditive Maintenance e a utilização de IA para a otimização de processos. Formações, suporte técnico mundial e a entrega rápida de peças sobresselentes completam a nossa oferta de serviços.

Quais dos nossos serviços e normas são especialmente importantes para os fabricantes de semicondutores?

Para os nossos clientes da indústria de semicondutores, os nossos produtos compatíveis com salas limpas, a máxima segurança do processo e uma longa vida útil são particularmente importantes. Se algo não correr de acordo com o planeado, beneficia de uma análise rápida da causa da falha, realizada pela Festo recorrendo a métodos de análise modernos. Além disso, implementámos um sistema de gestão abrangente de alterações e descontinuações, que nos permite cumprir os requisitos padrão da indústria, como, por exemplo, o "CopyExact!" (CE!). Também oferecemos produtos para aplicações em salas limpas, que, mediante pedido, podem ser embalados em duplicado.