FOUP-ovi obezbeđuju zatvoreno okruženje za transport i skladištenje ploča između koraka procesa. Pročišćavanje N₂ pomaže u održavanju potrebne zaštitne atmosfere unutar FOUP-a i ograničava izloženost atmosferskom kiseoniku i kontaminaciji iz vazduha.
Izazov nije samo smanjiti protok azota. Protok mora odgovarati zahtevima procesa pročišćavanja dok se izbegava nepotrebna potrošnja.
Precizna regulacija protoka i pritiska azota je stoga ključna kako bi se osiguralo da snabdevanje može pouzdano reagovati na promenljive uslove procesa.
Piezoelektrični savijači pretvaraju električni napon u precizno mehaničko kretanje. Ovo omogućava kontinuirano i precizno regulisanje pritiska ili protoka uz minimalnu potrošnju električne energije.
proporcionalni regulator pritiska VEAD i programabilni logički kontroler VEFC za maseni protok koriste ovaj princip za kontrolu inertnih gasova kao što je azot. Zahvaljujući preciznoj regulaciji, brzoj reakciji i niskoj generaciji čestica, oni su pogodni za osetljive primene u proizvodnji poluprovodnika.
Konstantan ili visok protok često obezbeđuje više azota nego što je zaista potrebno. Kontrola bazirana na piezo tehnologiji preciznije podešava protok N₂ prema stvarnim zahtevima procesa.
U Festo uzorku proračuna, regulisan protok je smanjio stopu pročišćavanja sa 20 na 5 SLPM po FOUP-u, što odgovara smanjenju do 75%. Stvarna ušteda zavisi od zahteva procesa i radnih uslova.
Piezobazirani pritisak ili regulacija protoka mogu biti posebno korisni kada aplikacija zahteva:
OUP pražnjenje je deo šireg okruženja za proizvodnju poluprovodnika. Relevantni zahtevi za automatizaciju zavise od opreme i oblasti procesa.
Za primene koje uključuju deponovanje, jetkanje, implantaciju jona i srodnu opremu za obradu ploča, istražite procese visokog vakuuma u proizvodnji poluprovodnika.
Za pražnjenje FOUP-a i druge primene sa N₂ u atmosferskim procesnim okruženjima, istražite atmosferske procese u proizvodnji poluprovodnika.